SM421 Service Manual(Chi Ver1).pdf - 第191页
Head Module 4-75 4.10.3.4. V acuum/Blow 管道清扫方法 1. 贴装在 Head Assembly 转轴上的喷嘴点击 <Put All Nozzle> 按钮。 2. 操作示教框设备执行初始化 (Ho ming) 。 3. 请正常关闭 PC 后,关闭 设备前面的 Main Switch 。

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4.10.3.3. Head Vacuum Level 检点
为执行头部真空度检查,依次执行以下过程。
过滤器 / 管道堵塞检查
在未贴装喷嘴的状态下按各个 Head 打开 Vacuum(真空装置)使 Vacuum Level
维持 200 mmHg 以下。如果 200 mmHg 以上,可能会引起 过滤器
或管道堵塞现象,请参照 “4.10.3.4 Vacuum/Blow
管道清扫方法
” 。
实作业真空度检查
各 Head 的喷嘴座上插入 blow master nozzle 或干净的 CN040 喷嘴后,打开个别
Head Vacuum Vacuum Level 要处于 480(mmHg)以上。
真空发生器真空度检查
各 Head 贴装 CN040 喷嘴,打开个别 Head 的 Vacuum 后堵塞喷嘴末端时, Vac
uum Level 应达到 600 mmHg 以上。
各 Head 别打开 Vacuum,确认是否满足下表的 Vacuum Level。
顺序 Head 状态 Vacuum Level (正常状态)
措施方法
1
不使用 Nozzle 200 以下 (mmHg)
2
CN040 贴装 480 以上 (mmHg)
3
封闭喷嘴末端 600~700 (mmHg)
Vacuum Sensor Board
Head I/F Board
注 意
使用 CN040 喷嘴以外的其它喷嘴进行测定时, 显示不同的 Va
cuum Level,因此请务必把 CN040 喷嘴贴装到各 HEAD 后
进行测定。
调整可变电阻 Current
Level 设置为‘0’

Head Module
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4.10.3.4. Vacuum/Blow 管道清扫方法
1. 贴装在 Head Assembly 转轴上的喷嘴点击<Put All Nozzle>按钮。
2. 操作示教框设备执行初始化(Homing)。
3. 请正常关闭 PC 后,关闭设备前面的 Main Switch。

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4. 转动 Y1 Frame Ass’y 后面的 Blow Regulator 调节把儿,供给压力升为
“0.5Mpa”。
5. 用手按住 1 号转轴的 slide body 最大限度下降后,在喷嘴座下端垫上干净布块,
10 次以上反复按作用于 Head Air 程序的相应转轴手动按钮。
6. 同样地反复 2 号转轴~ 6 号转轴。
7. 转动 Blow Regulator 的调节把儿,供给压力调回原来的 0.1Mpa。
警 告
完成清扫后,需要把 Blow Regulator 供给压力重新设置成
0.1Mpa。否则,严重损坏设备或操作者受到损伤。
Head Blow Air Pressure
Gage
Main Switch 的 OFF
方向 (逆时针方向)