SM421 Service Manual(Chi Ver1).pdf - 第61页
Calibration 3-9 首先， 把 X 机架手动移动到设备的中间部分。 请点击 < 歪斜的补偿 > 按钮。那么自 动对 Z 轴执行初始化， Y1 轴电动机旋转， 到感知 Y H o m e 传 感器为止移动 X 机架， Home 传感器感知后，反 方向移动 相当于 Y 轴移动距离 后，再感知 Y 轴 Ho me 传感器为止反方向移动。 然后如下图显示 Skew 信息，问是否适用该 值。 点击 <…
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3-8
注 意
重新校准后，原点位置会改变。如果不重新示教拾取位置、
ANC 及贴装原点等与设备位置有关的项目，将导致设备动作
异常。从新校准后，必须重新示教与位置有关的项目。
3.2.2. 歪斜修正
Skew 意味着设备移动后对 Y1 和 Y2 轴 X 轴不形成垂直状态，补偿发生的歪斜。
这个鼻息在设备的最初安装及移动后执行。对 Y 轴执行螺母补偿方法如下;
注 意
最初设备的安装及移动后，执行初始化之前必须执行 <螺母
补偿>。否则设备驱动中可能会受到损伤。
Calibration
3-9
首先， 把 X 机架手动移动到设备的中间部分。
请点击<歪斜的补偿>按钮。那么自动对 Z 轴执行初始化，Y1 轴电动机旋转，
到感知 Y Home 传感器为止移动 X 机架， Home 传感器感知后，反方向移动
相当于 Y 轴移动距离后，再感知 Y 轴 Home 传感器为止反方向移动。
然后如下图显示 Skew 信息，问是否适用该值。
点击<是(Y)>按钮后再点击 <更新>按钮，则按照适用的 Skew 信息设备重新执
行初始化。
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3-10
3.2.3. 基准照相机测量
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
<1.基准> 按钮
设置处于 ANC 顶面的 Reference Fiducial Mark 的位置
下面是用基准相机 Teaching 示教 ANC 顶面的校正 Too1 的 Reference Fiducial
Mark 过程。
1. 点击<1.基准>按钮出现如下的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按
钮。
这时，基准相机会移动到相应的位置。Gantry 1 时 Mark ID 用 "7"号