SM421 Service Manual(Chi Ver1).pdf - 第91页

Calibration 3-39 3.2.7.6. Fly Camera Scale Calibration 校正飞行相机的倍率 (Scale) 和旋转 (Rotation) 。为校正飞行相机的 Scal e 和 Rotation , 必须先行校正 Fix Camera Calibration 和 Head Z Offset Calibration ,为执 行校正必须使用平板 ‘CNT20’ 吸嘴。 下面是 Fly-Camera Sca…

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结果值可在 Head Offset 对话框中确认。
Head XY Offset Calibration 基准值如下。
Head 1 X : -0.04mm ~ 0.04mm, Head 1 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 2 X : 29.96mm ~ 30.04mm, Head 2 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 3 X : 59.96mm ~ 60.04mm, Head 3 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 4 X : 89.96mm ~ 90.04mm, Head 4 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 5 X : 119.96mm ~ 120.04mm, Head 5 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 6 X : 149.96mm ~ 150.04mm, Head 6 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
" 备注
Calibration
3-39
3.2.7.6. Fly Camera Scale Calibration
校正飞行相机的倍率(Scale) 和旋转(Rotation) 。为校正飞行相机的 Scale
Rotation 必须先行校正 Fix Camera Calibration Head Z Offset Calibration,为执
行校正必须使用平板 ‘CNT20’吸嘴。
下面是 Fly-Camera Scale Calibration 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮,在 ANC1 号孔中插入 CNT20 吸嘴。
选择<自动下一步> 校验框后,点击<10. Fly Camera Scale>按钮,则对选择的
Gantry 自动执行校正。
选择<没有实际运动(手动)> 校验框后,执行校正会在各 Head 手动插入吸
嘴,并点击<下个>进入下一个阶段
不选<自动下一步> <没有实际运动(手动)>中的任何校验框的状态下执行
校正时,虽然对当前被选的 Head 自动更换吸嘴,但要点击<下个>按钮才能
行下一个阶段。
2. 点击<10.Fly Camera Scale> 按钮,消息窗口显示首先,我们必须把所有喷嘴
手动离开朝向。将 Z 轴调制低处,点击[下一步]” 消息。为手动删除安装在磁
头的所有吸嘴,要下降磁头的 Z 轴请点击<下个>按钮。
3. 那么,磁头组件(Head Assembly)移动到设备指定的位置后,下降所有 Z
轴。此时,请手动除去所有已安装的吸嘴。
4. 显示下一步,将标准工具粘贴在头部 1。点击[下一步]向下移动。移动后,手
动粘贴工具到首部。消息。在吸嘴 1 号的吸嘴座手动安装 CNT20 吸嘴后,请
点击 <下个> 按钮。
5. 显示移动到中心位置[固定 1]摄像。移动,点击[下一步]消息。为了把磁
头组件移动到固定相机 1 的中心位置,请点击 <下个>按钮。此时,在 <目标
摄像> 组合框中选择固定相机 1”后点击 <亮度>按钮, 亮度控制对话框
SMVision 窗显示的 CNT20 吸嘴上的 Ficucial Mark 明显为止调整照明亮
度。
6. 示的 Calibration Tool 上的 Ficucial Mark 明显为止调整照明亮度。
7. 显示排列工具成标准!然后点击[下一步]”
消息。请点击 <下个>按钮。
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那么,磁头 1 Z 轴上升到飞行相机的部件识别高度,关闭 Mirror。然后在消
息窗显示准备标准。对于标准,点击[下一步]” 消息。此时在 <目标摄像>
合框中选择飞行相机 1点击<亮度>按钮,在亮度控制对话框中 SMVision
显示的 CNT20 吸嘴上的 Fiducial Mark 明显为止调整照明亮度后点击<下个>
按钮。
8. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则如下图显示结果值,请点击 <下个>
按钮。
9. 显示下一步, 把校校正工具从 H1 取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。消息。为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除去 CNT20 吸嘴请点
<下个>按钮。
10. 请按照对飞行相机 1 的校正方法,同样地从飞行相机 2~6 执行校正。
11. 对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值
请点击<确定>按钮。