YSi_Prog_C.pdf - 第172页

3-8 3 7 设置检查机详细设置画面的参数。 按照下表设置。 项目 设定值 YSi-12(19µm) YSi-12(10µm) YSi-12(5µm) YSi-S(19µm) YSi-S(10µm) YSi-S(5µm) 视野尺寸 X(µm) 44,600 22,600 12,300 44,600 22,600 12,300 视野尺寸 Y(µm) 37,400 20,600 10,300 37,400 20,600 10,300 相机…

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3
6
从「检查机设置」栏选择「INSPECTOR1」，按 [ 更改 ] 按钮。
显示「检查机详细设置」画面。
「检查机详细设置」画面
选择「INSPECTOR1」
26307-P9-00
项目 范围 说明
检查机名
20
字符以内 设置要在「数据 (P)」-「转换基板程序 (D)」的子菜单中显示的名称。
信息库路径
259
字符以内
设置转换时要使用的形状对应表
xml
文件。
按 [ 浏览 ] 按钮，可以从「打开」画面选择。
输出路径
259
字符以内
设置转换后的检查机数据的默认输出目的地。
按 [ 浏览 ] 按钮，可以从「打开」画面选择。
输出数据的格式
YVi
格式
/YSi
格式 设置要转换的检查机数据的格式。
自动分配拼块
OFF/ON
转换时，设置是否执行自动分配拼块。
使用此功能时，必须按照检查机的设定值设置「视野尺寸
X
」
以后的项目。
拼块基准标记的转换方法 不转换 / 局部基准标记
‧
「输出数据的格式」栏为「
YVi
格式」时 ：
如设置为「不转换」，则不转换基板程序的拼块基准标记。
如设置为「局部基准标记」，则基板程序的拼块基准标记转换为检查机的
局部基准标记检查对象。
‧
「输出数据的格式」栏为「
YSi
格式」时 , 此栏无法设置。
转换时，基板程序的拼块基准标记会转换为检查程序的拼块基准标记。
局部基准标记的转换方法 不转换 / 局部基准标记
‧
「输出数据的格式」栏为「
YVi
格式」时 ：
如设置为「不转换」，则不转换基板程序的局部基准标记。
如设置为「局部基准标记」，则基板程序的局部基准标记转换为检查机的
局部基准标记检查对象。
‧
「输出数据的格式」栏为「
YSi
格式」时 , 此栏无法设置。
转换时，基板程序的局部基准标记会转换为检查程序的局部基准标记。
视野尺寸
X(µm) 10,000
〜
999,999
检查机的视野尺寸
X(µm)
视野尺寸
Y(µm) 10,000
〜
999,999
检查机的视野尺寸
Y(µm)
相机待机位置
X(µm) -999,999
〜
999,999
检查机的相机待机位置
X(µm)
相机待机位置
Y(µm) -999,999
〜
999,999
检查机的相机待机位置
Y(µm)
相机移动速度
X(µm/s) 1
〜
2,137,483,647
检查机的相机移动速度
X(µm/s)
相机移动速度
Y(µm/s) 1
〜
2,137,483,647
检查机的相机移动速度
Y(µm/s)
相机加速度
X(G) 0.001
〜
9.999
检查机的相机加速度
X(G)
相机加速度
Y(G) 0.001
〜
9.999
检查机的相机加速度
Y(G)
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3
7
设置检查机详细设置画面的参数。
按照下表设置。
项目
设定值
YSi-12(19µm) YSi-12(10µm) YSi-12(5µm) YSi-S(19µm) YSi-S(10µm) YSi-S(5µm)
视野尺寸
X(µm) 44,600 22,600 12,300 44,600 22,600 12,300
视野尺寸
Y(µm) 37,400 20,600 10,300 37,400 20,600 10,300
相机待机位置
X(µm) 0
相机待机位置
Y(µm) 0
相机移动速度
X(µm/s) 1,500,000 1,300,00
相机移动速度
Y(µm/s) 1,500,000 1,100,00
相机加速度
X(G) 4.0 2.0
相机加速度
Y(G) 2.5 1.2
8
按 [OK] 按钮，结束检查机的设置。
返回「设置转换为检查机数据」的画面，按 [OK] 按钮。
显示确认对话框，确认内容后按 [ 确定 ] 按钮。
9
重新启动基板资源管理器。
必须重新启动基板资源管理器，设置才会有效。
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3
1.3 创建检查程序
以下，介绍使用 P-Tool 从基板程序创建检查程序的方法。
1
启动基板资源管理器。
2
从树状视图中选择生产线。
3
从主视图中选择想要转换的基板程序。
使用 [Shift] 键或 [Ctrl] 键可以选择多个基板程序。
基板资源管理器
Step 3
Step 2
26308-P9-00
4
选择要转换的检查机。
从「数据」菜单选择「转换基板程序」后，选择「转换为 YSi-12 的数据」。
参考
选择基板名后点击鼠标右键，打开右键菜单也可以选择。
检查机的选择
选中基板名后点击鼠标右键，从右键菜单选择时
从数据菜单选择时
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