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NPM-D 维修篇 1.5 各装置的定期检查项目 EJM1DC-MB-01M -00 Page 1-39 5. 托盘板 6. 托盘供料器拉出 ( 选购件 ) 7. 托盘供料器料箱 ( 选购件 ) 托盘板 EJK1A-004E 插槽 工作台表面 线性导轨 轨道块 凸轮盘 ( 内侧 ) 线性导轨

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维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-38 EJM1DC-MB-01M-00
3.
托盘供料器主体
(
选购件
)
4.
托盘供料器升降机
(
选购件
)
滚珠丝杠
线性导轨
废屑箱

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维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-39
5.
托盘板
6.
托盘供料器拉出
(
选购件
)
7.
托盘供料器料箱
(
选购件
)
托盘板
EJK1A-004E
插槽
工作台表面
线性导轨
轨道块
凸轮盘
(
内侧
)
线性导轨

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维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-40 EJM1DC-MB-01M-00
8.
支撑销自动更换
(
选购件
)
支撑销用吸嘴
100
吸嘴
(16
、
12
、
8
吸嘴头用
)
1100
吸嘴
(2
吸嘴头用
)
吸嘴锥体面
吸嘴尖端部
(
吸附衬垫
)
吸嘴内部
吸嘴反射板
吸嘴法兰盘上面
(2D
代码部
)
支撑销用吸嘴交换器
吸嘴交换器上面
基板支撑块
(
自动更换用
)
支撑销
(
自动更换用
)