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NPM-D 维修篇 5.20 出气口 ( 调节器装置 ) 的检查 EJM1DC-MB-05M -00 Page 5-57 出气口内积有水时 4 卸下气管。 5 把接水的瓶子放在出气口的阀门下面， 按下出气口阀门的按钮， 将其中的水排 出到瓶子里。 6 用棉纱布等擦去剩余的水滴，装上气 管。 7 关上本机后面侧的右下的盖。 ∗ 请用六角扳手拧紧螺栓。 8 确认序列号。 ∗ 请确认画面上显示的序列号和贴在盖 上的产品 铭板序列号是否一致…
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维修篇
5.20
出气口
(
调节器装置
)
的检查
Page 5-56 EJM1DC-MB-05M-00
5.20
出气口
(
调节器装置
)
的检查
使用工具
棉纱布等、中性洗净剂 需要时间
[min]
10
要求
在敝公司指定的环境条件下出气口内不会积水。但是，如果在指定以外的条件下使用，
请进行定期检查，并如果积水，即时排水。
1
将主电源开关置于
OFF
。
2
打开本机后面侧右下的盖。
∗
请使用六角扳手拆卸
3
处螺栓。
3
检查在出气口内是否积水。
螺栓
出气口
NPM-D
维修篇
5.20
出气口
(
调节器装置
)
的检查
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-57
出气口内积有水时
4
卸下气管。
5
把接水的瓶子放在出气口的阀门下面，
按下出气口阀门的按钮，将其中的水排
出到瓶子里。
6
用棉纱布等擦去剩余的水滴，装上气
管。
7
关上本机后面侧的右下的盖。
∗
请用六角扳手拧紧螺栓。
8
确认序列号。
∗
请确认画面上显示的序列号和贴在盖上的产品
铭板序列号是否一致。
(
“
安装篇
1.2.9
序列号的确认
”)
接水的瓶子
出气口阀门
出气口阀门的按钮
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维修篇
5.21
高度传感器的清扫
(
选购件
)
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5.21
高度传感器的清扫
(
选购件
)
使用工具
棉纱布等
需要时间
[min]
3
投光部、受光部的玻璃上附着灰尘等脏物，是导致基板高度计测失误的主要原因。因此请定期清扫
玻璃。
∗ 在进行维护作业前，需要先取下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1
将主电源开关置于
OFF
。
2
打开安全盖。
3
用棉纱布擦拭高度传感器的投光部、受
光部。
∗
请按照长边方向擦拭各个玻璃。
∗
在清扫玻璃时，请使用柔软的棉纱布。同时，
要小心不要划伤玻璃表面。如果划伤了玻璃，
将有可能会导致不能正确计测基板高度。
4
关闭安全盖。
5
将主电源开关置于
ON
。
投、受光部玻璃