NPM维护保养说明.pdf.pdf - 第213页
NPM-D 维修篇 EJM1DC-MB-05M -00 Page 5-1 5. 560 小时检查一次 [ 每月一次 ] 在本章中，对每 560 小时需检查一次 ( 每月一次 ) 的项目进行说明。
NPM-D
维修篇
4.11
基板支撑块
(
自动更换用
) (
选购件
)
的清扫
Page 4-48 EJM1DC-MB-04M-00
17
按
+ [
更换完毕
]
。
18
按
+ [
执行
]
。
•
基板支撑块
(
自动更换用
)
将会下降到原点。
ChangePinUnitChange-29C00
18
ChangePinUnitChange-28C00
17
NPM-D
维修篇
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-1
5. 560
小时检查一次
[
每月一次
]
在本章中，对每
560
小时需检查一次
(
每月一次
)
的项目进行说明。
NPM-D
维修篇
5.1
对基板传送带供给润滑脂
Page 5-2 EJM1DC-MB-05M-00
5.1
对基板传送带供给润滑脂
使用工具
―
需要时间
[min]
20
要求
该维护作业，应在主电源开关处于
ON
的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业
时，请务必使伺服开关处于
OFF
，并打开安全盖。
(
打开安全盖可以切断向
XY
电机的
供电。
)
请按照如下顺序在基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键上涂敷润滑脂。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
∗ 本作业请在双轨模式下进行。
(
“10.4
双式传送带切换为单轨模式
”)
使传送带移动到维护位置。
1
使
<
维护
>
画面显示出来。
2
选择
。
3
按操作面板的
[
维护位置
]
。
∗
请确认在基板支撑块上不存在支撑销。
4
按操作面板的
+
[
执行
]
。
5
卸下交换台车。
MainteConveyorMoving-01C03
2
3
MainteConveyorMoving-0202
4