NPM维护保养说明.pdf.pdf - 第329页
NPM-D 维修篇 9.3 面补正 XY EJM1DC-MB-09M -00 Page 9-11 12 按 [ 确认 ] 。 13 按 + [ 面补正 XY] 。 • 将会进行前侧的校准，然后继续进行 后侧的校 准。 14 确认是否已正常结束。 UnitCalibAxisSurfa ce-04C02 12 UnitCalibAxisSurfa ce-05C02 13 UnitCalibAxisSurfa ce-06C02 14
NPM-D
维修篇
9.3
面补正
XY
Page 9-10 EJM1DC-MB-09M-00
6
按
+ [
确认
]
。
•
吸头将会移动到退避位置。
7
将伺服开关置于
OFF
。
8
打开安全盖。
9
轨道
1
、轨 道
2
都将前面轨道上面的基
准标记对准面补正量具的右端。
∗
(
左
Æ
右流动、右
Æ
左流动都同样。
)
10
关闭安全盖。
11
将伺服开关置于
ON
。
基准标记
UnitCalibAxisSurface-03C02
6
NPM-D
维修篇
9.3
面补正
XY
EJM1DC-MB-09M-00 Page 9-11
12
按
[
确认
]
。
13
按
+ [
面补正
XY]
。
•
将会进行前侧的校准，然后继续进行后侧的校
准。
14
确认是否已正常结束。
UnitCalibAxisSurface-04C02
12
UnitCalibAxisSurface-05C02
13
UnitCalibAxisSurface-06C02
14
NPM-D
维修篇
9.3
面补正
XY
Page 9-12 EJM1DC-MB-09M-00
15
按
。
•
不仅是下一项目，从此画面换到其它画面时都
会显示确认是否保存数据的画面。
∗
若要保存通过校准获得的数据，请按
[
是
]
。
•
若按
[
否
]
，将会进行原点复归，通过校准获得的
数据将被失掉。
•
上述操作完毕后，画面将会转换。
16
按
+ [
确认
]
。
•
吸头将会移动到退避位置。
17
将伺服开关置于
OFF
。
18
打开安全盖。
UnitCalibAxisSurface-07C02
15
UnitCalibAxisSurface-08C02
16