KE-2050_60检修手册.pdf - 第218页

3-201 [ 解决 ] 请 关闭电源 并重新启动。 如果 重新启动系统 之 后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。 E6 1 0230 发生 LZ3 驱 动警 报 。 [ 原因 ] 左 Head3 的 Z 轴伺 服 驱 动器发生 故障 。 [ 解决 ] 请 关闭电源 并重新启动。 如果 重新启动系统 之 后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。 E6 1 023 1 发生 LZ4 驱 动警 报 。 [ 原因 …

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3-200
E610215 发生XR动警
[原因]
XR 动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610216 发生Y动警
[原因]
Y 动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610217 发生YR动警
[原因]
YR 动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610221 发生X线
[原因]
X 线(magnescale),发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610222 发生XR线
[原因]
XR 线(magnescale),发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610223 发生YL线
[原因]
Y 线(magnescale),发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610224 发生YR线
[原因]
YR 线(magnescale),发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610225 发生风扇被停止错误。
[原因]
热风扇被停止。
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610226 发生错误。
[原因]
[解决]
被供改成设计记载压力
E610227 发生未错误。
[原因]
发生未定错误。
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610228 发生LZ1动警
[原因]
Head1的Z 轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610229 发生LZ2动警
[原因]
Head2 Z 轴伺动器发生故障
3-201
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610230 发生LZ3动警
[原因]
Head3 Z 轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610231 发生LZ4动警
[原因]
Head4 Z 轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610232 发生RZ1动警
[原因]
Head1的Z 轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610236 发生LT1动警
[原因]
Head1的θ轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610237 发生LT2动警
[原因]
Head2 θ轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610238 发生LT3动警
[原因]
Head3 θ轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610239 发生LT4动警
[原因]
Head4 θ轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610240 发生RT1动警
[原因]
Head1的θ轴伺动器发生故障
[解决]
关闭电源并重新启动。如果重新启动系统后也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610245 发生VME总线断电
[原因]
检测出 VME 总线降低 能发生停等的电源
[解决]
关闭电源之后,确一下供电源
如果电源没有问题也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610246 发生停
[原因]
检测出安全电路关闭
[解决]
关闭电源之后,确一下供电源
电源没有问题也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610247 发生XY
[原因]
X 或者 Y 器上发现时,被显示。
[解决]
器上用并进行返回原点。
器上没有也发生错误时,请关闭电源之后重新启动。
3-202
启动也发生错误,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610248 发生Zθ
[原因]
Z 或者θ器上发现时,被显示。
[解决]
器上用并进行返回原点。
器上没有也发生错误时,请关闭电源之后重新启动。
启动也发生错误,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610249 发生XY动警
[原因]
X 或者动器发生异常
[解决]
关闭电源之后重新启动。 启动也发生错误,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610300 发送COMRES命令出错。
[原因]
命令-命令的发送失败。
[解决]
请重新启动程序。重新安装程序级版本。
如果实施以上也同发生错误,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610301 接受COMRES错。
[原因]
命令-命令的接收失败。
[解决]
请重新启动程序。重新安装程序级版本。
如果实施以上也同发生错误,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610302 Z数不正确。
[原因]
Z 动处异常程序版本不配。
[解决]
请重新启动程序 实施重新安装或者
进行以上处理也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610303 T数不正确。
[原因]
θ动处异常程序版本不配。
[解决]
请重新启动程序 实施重新安装或者
进行以上处理也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610304 件等中发生时。
[原因]
状态变化通用的件等中发生时。程序版本不配。
[解决]
请重新启动程序 实施重新安装或者
进行以上处理也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610305 件发行错误。
[原因]
状态变化通用的件通,发生错误。程序版本不配。
[解决]
请重新启动程序 实施重新安装或者
进行以上处理也发生错误时,请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E610400 L1 Head真空被打
[原因]
Head1的真空被启动的状态下要回吸。吸有元件。
[解决]
检查 Head 上有没有元件被上,如果有元件被上,请取下 Head 上的元件。
E610401 L2 Head真空被启动。
[原因]
Head2 真空被启动的状态下要回吸。吸有元件。
[解决]
检查 Head 上有没有元件被上,如果有元件被上,请取下 Head 上的元件。