KE-2050_60检修手册.pdf - 第63页
3-46 基板传送 驱 动器 基板传送 驱 动器 基板传送 驱 动器 基板传送 驱 动器 ・ ・ ・ ・ 自 动传送 自 动传送 自 动传送 自 动传送 ・ ・ ・ ・ 空 运转 空 运转 空 运转 空 运转 错误代码 错误代码 错误代码 错误代码 信息 信息 信息 信息 _650000 _650000 _650000 _650000 E65000 1 基板传送错误 : 传送系统错误。 E650 1 00 基板传送错误 : 传送基板时，…
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E641304 MTS 信息 : 补充
E641401 MTC 通讯错误 : 超过时间(Ready Waiting Observation)
E641402 MTC 通讯错误 : 超过时间(Sync Character Observation)
E641403 MTC 通讯错误 : 超过时间(ETX Observation)
E641404 MTC 通讯错误 : MTS 电源被关闭
E641405 MTC 通讯错误 : 超过时间(Responseless Observation)
E641406 MTC 通讯错误 : 接收数据合法性错误
E641407 MTC 通讯错误 : 访问通讯缓冲器发生错误
E641408 MTC 通讯错误 : 超过时间(数据连接释放 1)
E641409 MTC 通讯错误 : 超过时间(数据连接释放 2)
E641410 MTC 通讯错误 : MTS 通讯初始化失败
E642202 DTS 通讯错误 : 数据错误
E642203 DTS 通讯错误 : 通讯错误
E642204 DTS 通讯错误 : 步骤错误
E642205 DTS 通讯错误 : 同步错误
E642208 DTS 错误 : DTS 没有被设置
E642210 DTS 数据错误 : 指定了未定义命令代码
E642211 DTS 错误 : 抽出要求被重复发送(WAIT)
E642214 DTS 错误 : 应答超时
E642217 DTS 错误 : DTS 未结束初始化
E642218 DTS 错误 : 在补充阶段，DTS 不能运转
E642220 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTC-1)
E642221 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTC-2)
E642222 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTS-1)
E642223 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTS-2)
E642224 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E642225 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(DTS-2)
E642230 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTC-1)
E642231 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTC-2)
E642232 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTS-1)
E642233 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTS-2)
E642234 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E642235 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E642240 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTC-1)
E642241 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTC-1)
E642242 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTC-2)
E642243 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTC-2)
E642244 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTS-1)
E642245 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTS-1)
E642246 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTS-2)
E642247 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTS-2)
E642248 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(DTS-1)
E642249 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(DTS-1)
E642250 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(DTS-2)
E642251 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(DTS-2)
E642301 DTS 通讯错误 : ACK 应答超时
E642302 DTS 通讯错误 : 接收 ACK/NAK 超时
E642303 DTS 通讯错误 : 执行指令超时
E642304 DTS 通讯错误 : 设置应答超时
E642305 DTS 通讯错误 : 应答数据有效性错误
E642306 DTS 通讯错误 : 接收正文结束符(ETX)错误
E642311 DTS 错误 : DTS 发生错误
E642312 DTS 错误 : 因没有运行初始化，不能运转
E642313 DTS 错误 : 因安全盖被打开，不能运转
E642314 DTS 错误 : 在补充阶段不能运转
E642315 DTS 错误 : 因为其它原因，不能运转
E642321 DTS 错误 : 托盘设置要求错误
E642322 DTS 错误 : 补充要求错误
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基板传送驱动器
基板传送驱动器基板传送驱动器
基板传送驱动器 ・
・・
・自动传送
自动传送自动传送
自动传送 ・
・・
・空运转
空运转空运转
空运转
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_650000
_650000_650000
_650000
E650001 基板传送错误 : 传送系统错误。
E650100 基板传送错误: 传送基板时，发生异步现象。
E650208 传送基板错误 : 检查中心马达停止错误。
W650211 传送基板错误 : C.OUT 传感器发现基板。请移走出口缓冲器的基板。
E650218 传送基板错误 : 不是 Resume 暂停状态，却被接受 Resume 返回原点命令。
W650219 传送基板错误 : 正在传送基板。
E650221 传送基板错误 : 等待传感器 OFF 超时。
E650222 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请卸下基板。
E650223 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请取下基板。
E650224 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板超过时间。
E650226 传送基板错误 : 基板在入口缓冲区～中心缓冲区移动时，发现入口传感器 On。请取下基板。
E650227 传送基板错误 : 入口传感器 OFF 超时。
E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF 超时。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
E650235 传送基板错误 : C.OUT 传感器 ON 超时。
E650236 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
E650237 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP 传感器 ON 错误。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 ON 超时。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 OFF 超时。
E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。
E650261 传送基板错误 : OUT 缓冲器搬出基板超时。
E650262 传送基板错误 : OUT 传感器 OFF 超时。
E650264 传送基板错误 : 从出口侧中心缓冲区到出口缓冲区，基板移动超时。
E650265 传送基板错误 : 出口缓冲区，基板搬出超时。
E650266 传送基板错误 : 出口快门超时。
E650267 传送基板错误 : OUT 传感器 ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
E650271 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台上升失败。
E650272 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台上升超时。
E650273 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台下降失败。
E650274 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台下降超时。
E650275 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台马达运转异常。
E650276 基板固定错误 : 中心缓冲区，孔基准动作异常。
E650277 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台制动器固定错误。
E650278 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台制动器释放错误。
E650319 传送基板(通过)错误 : 正在运行传送基板(通过)。
E650334 传送基板(通过)错误 : 从入口缓冲区到中心缓冲区的基板移动超时。
W650401 基板固定错误 : 支撑台停止挡销被打开。请关闭支撑台停止挡销。
W650402 基板固定错误 : 支撑台停止挡销没有被选用。
W650701 重新固定错误 : 在停止传感器上面，没有发现基板。请确认一下基板位置。
E650702 重新固定错误 : 未查出基板前沿。
E650703 重新固定错误 : 未查出基板前沿。
E650704 重新固定错误 : 基板处于固定状态。不能重新固定。
W650711 重新固定错误 : C.OUT 传感器发现基板。请移走出口缓冲器的基板
W650791 重新固定错误 : 重新固定动作所需的移动距离不够长。
W650792 重新固定错误 : 重新固定动作时，等待传感器状态已变更。
E651001 未完成返回原点。
E651002 返回原点发生错误。
E651003 没有必要移动。
E651004 被支撑台针检查而停止。
E651005 命令被重复执行。
E651006 起动命令事件出错。
E651007 执行命令超时。
E651008 马达已经停止，但编译器没有停止。
E651009 起动马达时发生错误。
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E651010 等待马达停止时发生错误。
E651011 读取原点传感器时发生错误。
E651012 马达尚未停止。
ＣＶＳ
ＣＶＳＣＶＳ
ＣＶＳ
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_690000
_690000_690000
_690000
E690001 没有安装 CVS。
E690002 因没有关闭探针，不能切换到测量电阻模式。请关闭探针后再执行。
E690003 因探针没有被打开，不能切换到测量电容模式。请打开探针后再执行。
E690004 测量模式错误。
E690005 控制探针的参数错误。
E690006 不关闭探针，就不能测量电阻。请关闭探针后执行。
E690007 不关闭探针，就不能测量电容。请关闭探针后执行。
E690008 不关闭探针，就不能测量二极管。请关闭探针后执行。
E690009 因为不是测量电阻模式，不能测量电阻。请切换到测量电阻模式后执行。
E690010 因为不是测量电容模式，不能测量电容。请切换到测量电容模式后执行。
E690011 因为不是二极管测量模式，所以不能测量二极管。请切换到二极管测量模式后执行。
E690012 因为采取的模式不是测量电阻模式，所以不能测量电阻。
E690013 因为采取的模式不是测量电容模式，所以不能测量电容。
E690014 因为采取的模式不是测量二极管模式，所以不能测量二极管。
E690015 零位电阻有些异常。请检查一下探针是否短路。
E690016 读取电阻超时。
E690017 读取电容超时。
E690018 读取电压超时。
E690019 读取的电阻不稳定，请检查探针状态。
E690020 读取的电容不稳定，请检查探针状态。
E690021 读取的电压不稳定。请检查探针状态。
E690022 测量的电阻值异常。
E690023 测量的电容值异常。
E690024 测量的电压值异常。
E690025 测量的电阻值(单位)异常。
E690026 测量的电容(单位)有些异常。
E690027 测量的电压值(单位)异常。
E690028 不能测量电阻，请检查探针是否已关闭。
E690029 不能测量电容值。请检查探针是否已关闭。
E690030 不能测量电压值。请检查探针是否已关闭。
E690031 不能打开检测器电源。
E690032 因为气压下降，所以停止探针的控制。
安
安安
安全
全全
全
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_691000
_691000_691000
_691000
E691001 CCL-48M 的 I/O 缓冲器不能达到就绪状态。
E691002 不能使用闪存的写入缓冲器。
E691003 不能使用闪存的删除指令。
E691004 闪存的 WSM(Write State Machine)不能达到就绪状态。
E691005 闪存控制中发生写入电压范围错误。
E691006 闪存控制中发生设备保护错误。
E691007 闪存控制中发生写入错误。
E691008 闪存控制中发生指令次序错误。
E691009 闪存控制中发生 Lock Bit Set 错误。
E691010 闪存控制中发生 Lock Bit Clear 错误。
E691011 闪存的共通数据的字节校验法(Check Word)错误。
E691012 闪存的共通数据的和数校验法(Check sum)错误。
E691013 闪存的共通数据的数据版本错误。