KE-2050_60检修手册.pdf - 第29页

3-12 E29 1 003 不能 执 行传送。 停止 运 行。 E29 1 004 传送 超 过时 间 。 停止 运 行。 E29 1 005 轴 不能 移 动。停止 运 行。 E29 1 006 没有设置 BOC 标 记 数据。 停止 运 行。 E29 1 007 在设置中, OCC 装 置没有被选用。 E29 1 008 设置数据有 差 错。 E29 1 009 设置数据 超出范围 。 E29 1 0 1 0 因 超 过传送 余 …

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别送器台
别送器台别送器台
别送器台
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_249000
_249000_249000
_249000
E249001 没有行返回原点。请行返回原点后,再次操作
E249002 没有使用 OCC 停止别台
E249003 停止按被按下,停止别台
E249004 不能别位置。 停止别台
E249005 别台记出错。 停止别台
E249006 服处于释放状态,停止台记识别。
Q249051 器台被下 是否后,继续别台
(
((
(补助编辑程序
补助编辑程序补助编辑程序
补助编辑程序)
))
)
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_290000
_290000_290000
_290000
E290000 没有行原点返回。 行原点返回后,进行示
E290001 在设置中,OCC 置没有被选用。
E290002 在设置中,板标记装置没有被选用。
E290003 在设置中,HMS 置没有被选用。
E290006 访问内存错。
E290007 在设置中,Head 置没有被选用。
E290008 因硬件错,停止行。
E290009 右侧 OCC 不能示,请使用左侧 OCC
E290010 不能 DTS
E290011 DTS 没有完成初始化。
E290012 DTS 安全盖被打
E290013 DTS 补充状态
E290014 DTS 出托盘失败。
E290015 在设置中,DTS 没有被选用。
E290016 个设不能标上。
E290017 检查模板数据错。请再次修改。
E290020 没有打 MTS 电源
E290021 MTS 紧急停止。
E290022 MTS 没有完成初始化。
E290023 没有连接 MTS
E290024 MTS 盘存储箱盖被打
E290025 MTS 补充状态
E290026 MTS 盘存储箱不存在。
E290027 MTS 出托盘失败。
E290028 在设置中,MTS 置没有被选用。
E290029 模板数据传送发生错误。请再次进行示修改。
E290030 别台记出(MTS) 停止行。
Q290500 个设不能标上。从当前位置始示,请按[]停止,请按[]
Q290501 行示教操作,请注安全 行,请按[]停止,请按[]
Q290502 不能正。 考虑正继续行示,请按[]停止,请按[]
Q290503 已经存在标,是否覆盖保存?
机器操作
机器操作机器操作
机器操作(
((
(补助编辑程序
补助编辑程序补助编辑程序
补助编辑程序)
))
)
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_291000
_291000_291000
_291000
E291000 因为正在行传送操作以不能行。
E291001 没有行原点返回。 行原点返回后,再次操作
E291002 不能到等位置。停止行。
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E291003 不能行传送。 停止行。
E291004 传送过时 停止行。
E291005 不能动。停止行。
E291006 没有设置 BOC 数据。 停止行。
E291007 在设置中,OCC 置没有被选用。
E291008 设置数据有错。
E291009 设置数据超出范围
E291010 过传送允许范围,不能进行操作
E291011 不能动传送幅宽。
E291012 BOC 发生错误 [ 电路 : %d / %d ]
E291013 发现位置错误。结束运行。
E291014 紧急停止状态结束运行。
E291015 入口缓冲处存在基板。 搬出入口处基板后,再次执行。
E291016 缓冲处存在基板。搬出出口处基板后,再次执行。
E291017 不存在已经完成的吸取数据。
E291018 字符串错误。
E291019 范围错误。
E291020 检查跟踪的送器。
E291021 不存在已经完成的片数据。
E291022 因为没有被定的基板,以不能 BOC 准。
E291023 在设置中,调整基板幅宽没有被选用。
E291024 BOC 信息发送失败 [ ID : %d ]
E291025 服被关闭, 不能行。
E291026 请取下传送上的基板。
E291027 因为定基板操作结束以不能 BOC 准。
E291028 有错误。
E291029 MTC 电源未打
E291030 没有连接 MTC
E291031 MTC 未初始化。
E291032 MTC 补充状态
E291033 MTC 传送没有进行初始化。
E291034 MTC 于紧急停止状态
E291035 未输入基板数据。
E291036 在设置中,共面检测器没有被选用。
Q291500 BOC 失败。 继续,请按[]停止,请按[]
Q291501 被用。继续,请按[]停止,请按[]
Q291502 BOC 准,请注安全 行,请按[]停止,请按[]
Q291505 位置动,请注安全行,请按[]停止,请按[]
Q291506 动基板幅宽,请取下基板和行,请按[]停止,请按[]
Q291507 没有结束调整的返回原点。是否行返回原点?请取下基板和
行,请按[]停止,请按[]
Q291508 是否也 MTC 置的基板幅宽?行,请按[]停止,请按[]
I291509 请联机 MTC
Q291510 虽然真空器已被安装,是否也动基板幅宽?行,请按[]停止,请按[]
数据
数据数据
数据
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_292000
_292000_292000
_292000
E292000 没有注册数据。
E292001 请选
E292002 数已,不能
E292003 已经存在同注册的标
E292004 请输入注册
E292005 请选区域。
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E292006 被选标别类型与基板数据上的设置不同。
E292007 类型设置的类型不同。
Q292501 是否删除被选定的标数据?
Q292502 已经存在同注册的标,是否覆盖?
机器设置
机器设置机器设置
机器设置
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_300000
_300000_300000
_300000
E301000 分配内存错误
E301001 没有输入字符。
E301002 输入法字符。
E301003 输入值过输入范围(输入范围:X)
E301012 激光测定吸嘴高度发生错误。
E301015 %s 设置用个别吸号。
E301016 下吸,发生错误。
E301017 被选设不能标位置。请重新选
E301018 被选设尚未安装。请重新选
E301019 尚未完成原点返回。
E301020 没有打 MTC 电源
E301021 MTC 状态
E301022 文件 I/O 错误。错误代码:%02d 文件:%s
E301023 不存在 Head
E301024 被选设是不能使用设。请重新选别的设
E301025 MTC 不能使用。
E301026 服处未使用状态
W301027 数据
E301028 。请检查
E301032 MTC 补充状态
E301035 不能使用 MTS
E301036 没有打 MTS 电源
E301037 MTS 状态
E301038 机盖被打时,MTS 不能
E301039 MTS 被打
E301040 阶层托盘存储箱不存在。
E301042 MTS 已被选定。不能 IC 回收带安装在后
E301044 。请检查
E301046 输入号。请输入吸种类。
E301047 因取下吸发生错误。停止处理。
E301048 不能真空元位置。
E301049 安装发生错误。 [错误发生] %5d [错误 No.] %5d [错误详细] %5d %s
E301051 对于 ATC 不能设置真空准。
E301052 没有 Head
E301053 MTC/MTS 已被选,不能器台安装在后
E301054 不能同时连接 MTC MTS
E301055 发生错误。
E301056 XY 发生错误。
E301057 Z 发生错误。
E301058 没有安装指定的 508 。请安装
E301059 不能取得高度。请检查一下真空值。
E301060 不能同时连接 DTS MTS
E301061 传送带浮动传器不能只安装外侧
E301062 不存在定位置的吸
W301063 已被选用的 MTC/MTS 状态