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MDOC-SOFT50032 39 3. 3 シングルレーン・ デュアルレーン ☆標準では L 600までの基板に 対応可能 です。 ☆追加メインストッパ（オプショ ン）によりL7 00までの基板に対応可 能です。 Size Size Size Size～ ～ ～ ～ 600mm 600mm 600mm 600mm Stage Stage Stage Stage １ １ １ １ Size Size Size Siz…