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1 Nachr ü stanleitung Koplanarit ä t ( Option) SIPLACE 80 F4/F5 Ausgabe 05/99 1 - 29 Me ß werte f ü r das 1. Beinchen der 1. Reihe Beinch en-Zw ische nraum Me ß werte f ü r das 2. Beinch en der 1 . Reihe Me ß werte f ü r…

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SIPLACE 80 F4/(F4-6)/F5 1 Nachrüstanleitung Koplanarität (Option)
Ausgabe 05/99
1 - 28
1.8.9 Ablauf-Daten-Protokoll (ADP)
Nach Aktivierung des Testkommandos 3 bzw. 8 im Menü SOFTWAREOPTIONEN (siehe Abb. 1.8.1) wird
die Koplanaritätsmessung eines Bauelementes inklusive der
Protokollierung der Meßwerte durchgeführt.
Im Ablauf des Testkommandos
3 wird eine ausführliche Datei mit den Meßwerten jedes einzelnen Beinchens
mitprotokolliert
und das Endergebnis ermittelt, bei Testkommando 8 wird nur das Endergebnis festgehalten.
Die Daten werden in die Datei ADP.out (Pfad: D:\log\ ) gespeichert und können mit dem Editor angezeigt
werden (siehe Abschn. 1.8.9.2).
1.8.9.1 Ausgabe einer Fehlermeldung bei Ausführung des Testkommandos:
Beim Meßvorgang wird die folgende Fehlermeldung ausgegeben:
"Meßfehler! Koplan kann Befehl nicht ausführen"
-> Ignorieren Sie diese Meldung.
Ursache der Meldung:
Das BE wird für die Simulation über die IC-Kamera positioniert, nicht über den Sensor.
Informationen zu Fehlermeldungen im
Bestückablauf (inkl. dieser Fehlermeldung)
finden Sie in der Serviceanleitung SIPLACE, Kap. Koplanarität (Option).
HINWEIS:
Anschließend sehen Sie einen Ausdruck der
ADP.OUT Datei. Als vereinfachtes Beispiel wurde der Meßvor-
gang mit einem BE mit nur 2 Beinchenreihen, mit je 20 Beinchen durchgeführt.
Pro Beinchen treten 15 - 17 mal die Meßwerte, z. B. 39xxx, auf.
Die Meßreihenfolge sehen Sie in Abb. 1.8.2.
Die Reihenfolge ist identisch mit der Reihenfolge im Ablauf des Testkommandos 4.
1.8.9.2 Abdruck des Ablauf-Datenprotokolls mit Erklärung der Zeilen
Ablauf - Daten - Protokoll (ADP) Thursday 28 May 15:01:20
---------------------- Friday 05 June 18:01:00 ----------------------
Ablauf-Daten-Protokoll wurde eingeschaltet
1 Nachrüstanleitung Koplanarität (Option) SIPLACE 80 F4/F5
Ausgabe 05/99
1 - 29
Meßwerte für das
1. Beinchen der
1. Reihe
Beinchen-Zwischenraum
Meßwerte für das
2. Beinchen der
1. Reihe
Meßwerte für das
20. Beinchen der
1.
Reihe
Alle ermittelten Beinchen-
Höhen in
µm, absolut
0 am Anfang = Vorspann
-1 am Anfang = Lücke
(0 - 5000 µm)
20 Resultate
HINWEIS
Sollwert dieser Vermessungsdaten:
32 000 +/- 10 000 !
Mögliche Abhilfe bei Abweichung vom
Sollwert:
Z-Fokus und BE-Höhe überprüfen.
---------------------- Friday 05 June 18:01:10 ----------------------
>COPL: Vektorrotation:
zentr_x: -124.050260 zentr_y: 179.204780 zentr_winkel: -9000.000000
Erg_x: -179 Erg_y: -124 Erg_d (1/100 Grad): 0
>COPL: Secondary-Offsets[um]: min - max - mean
13, 37, 28
18, 33, 28
-98, -56, -68
-98, -60, -75
****** B A U T E I L S T A R T Gf_nr: 1928 ******
>Copl: Ideale Anf-/Endpos bezogen auf BE 0Grad
anf_x: 4616, anf_y: 14163, end_x: 4615, end_y: -4119
---------------------- Friday 05 June 18:01:11 ----------------------
>Copl: Ideale Anf-/Endpos bezogen auf BE 0Grad
anf_x: 4616, anf_y: 14163, end_x: 4615, end_y: -4119
>Copl: Reihen-Nr.: 4
>Copl: Gruppen-Nr. der GF-Beschr: 1
>Copl: Korrektur der Anf-/Endpos ((sec_min+sec_max)/2
delta: 25, sec_min: 13, sec_max: 37
Vorzeichen: x_a: -1, y_a: -1, x_e: -1, y_e: 1
---------------------- Friday 05 June 18:01:15 ----------------------
R O H D A T E N: Gf_nr: 1928 R_nr: 4
0 -1 39099 39095 39067 39063 39065 39069 39095 39133 39145 39125
39151 39151 39171 39167 39141 39169 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 39063 39121 39131 39149 39151 39179 39191 39199 39235 39251
39253 39253 39233 39263 39331 39485 39901 40095 40147 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 39449 39547 39555 39547 39563 39563 39563 39503 39497
39507 39507 39523 39569 39597 39627 39643 39729 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1.................
u.s.w.
bis 20. Beinchen der 1. Reihe:
............................ 39773 39971 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 39379 39439 39519 39465
39451 39457 39455 39469 39451 39457 39415 39413 39421 39445 39469 39497
39569 -1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
B E I N H O E H E N Gf_nr: 1928 R_nr: 4
0 3010 3025 3045 3057 3065 3062 3043 3045 3029 3014 3019
3046 3059 3073 3079 3057 3065 3071 3044 3037 0 0 0
---------------------- Friday 05 June 18:01:19 ----------------------
>Copl: Ideale Anf-/Endpos bezogen auf BE 0Grad
anf_x: -4616, anf_y: -14163, end_x: -4616, end_y: 4119
>Copl: Reihen-Nr.: 3
>Copl: Gruppen-Nr. der GF-Beschr: 2
>Copl: Korrektur der Anf-/Endpos ((sec_min+sec_max)/2)
SIPLACE 80 F4/(F4-6)/F5 1 Nachrüstanleitung Koplanarität (Option)
Ausgabe 05/99
1 - 30
Report: Höhenabweichungen der
Aufsetzebenen in µm (für jedes Beinchen)
Erste 0 am Anfang =Höhenabweichung innerhalb
der vorgegebenen Toleranz
00252 = Schräglage des BEs in 1/1000°
20. Beinchen der
2. Reihe
Meßwerte für das
Meßwerte für das
2. Beinchen der
2. Reihe
Beinchen-Zwischenraum
Meßwerte für das
1. Beinchen der
2. Reihe
weichungen zur Aufsetzebene in µm
Alle ermittelten Beinchen-Höhenab-
Nur für die letzte gemessene Reihe:
20 Pos. = 20 Pin
40 Pos. = 40 Pin
delta: 25, sec_min: 18, sec_max: 33
Vorzeichen: x_a: 1, y_a: 1, x_e: 1, y_e: -1
---------------------- Friday 05 June 18:01:23 ----------------------
R O H D A T E N: Gf_nr: 1928 R_nr: 3
0 -1 40891 39955 39661 39569 39557 39545 39531 39555 39541 39519
39555 39515 39527 39503 39523 39569 39505 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 40545
40417 40271 40101 39981 39539 39449 39395 39383 39343 39307 39279 39299
39315 39323 39341 39381 39383 39419 39407 39433 39453 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 39313 39261 39287 39215 39109 39063 39047 39023 38983 39009 39039
39033 39035 39039 39049 39051 38983 38937 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
................u.s.w.
bis 30. Beinchen der 2. Reihe (R_nr: 3):
................ -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 -1
-1 -1 -1 -1 -1 -1 -1 38967 38899 39017 39009 38859
38811 38819 38861 38853 38829 38881 38875 38841 38827 38885 38927 38925
38987 38963 -1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 am Schluß = Nachspann
B E I N H O E H E N Gf_nr: 1928 R_nr: 3
0 65 62 27 21 2 0 13 25 43 41 29
27 30 6 14 10 31 47 55 21 0 0 0
R E P O R T Gf_nr: 1928
0 00252 97 21 55 47 31 10 14 6 30 27
29 41 43 25 13 0 2 21 27 62 65 16
24 52 46 39 62 56 42 30 4 0 15 31
30 50 53 45 34 14 0 0 0 0 0 0
****** B A U T E I L E N D E Gf_nr: 1928 ******
---------------------- Friday 05 June 18:01:50 ----------------------
Bestueckreihenfolge, naechstes BE
Eintr: 1 Piptyp: 418 Pos-Idx: 4 BE-ebene: 0
---------------------- Friday 05 June 18:02:06 ----------------------
Ablauf-Daten-Protokoll wurde ausgeschaltet
HINWEIS
Im Protokoll des Testkommandos 8 wird nur das Endergebnis in die Datei ausgegeben.
Der
Report (= letzte Zeile) im Protokoll des Testkommandos 8 lautet, wie z.B.:
00 2856100000000
Die erste Null am Anfang der Zeile bedeutet, daß der
Sollwert für die Höhenabweichung eingehalten ist,
die zweite Null bedeutet, daß der Sollwert für die Winkelabweichung eingehalten ist. q