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操作手册Ⅰ 9 2- 顺 〈序 4 认传 态 〉确 基板 送的状 。 ① 请在传入一侧安放基板，并通过连续动作确认基板可顺畅地流动。 ② 显示传送控制画面。 请在简易准备画面里选择 「传 送动作」 。 1 .请选择「基板搬进（外形 基准） 」 。 2.请按下「执行」 。 使基板搬入·固定。 选择「基板搬出」并按「执行」后， 即可搬出基板。
操作手册Ⅰ
82-
③ 显示简易准备画面。
④ 将基板放置在传送装置上以后，在传送个别控制画面里启动「支撑台」。
⑤ 请确认支撑销的位置。另外，请用手从上方轻轻按压基板，确认基板已被支撑销支撑住。
请选择「个别控制」。
1.请选择「支撑台」。
2.请进行操作使支撑台上升、下降。
操作手册Ⅰ
92-
顺
〈序4
认传 态
〉确 基板 送的状 。
① 请在传入一侧安放基板，并通过连续动作确认基板可顺畅地流动。
② 显示传送控制画面。
请在简易准备画面里选择「传
送动作」。
1.请选择「基板搬进（外形
基准）」。
2.请按下「执行」。
使基板搬入·固定。
选择「基板搬出」并按「执行」后，
即可搬出基板。
操作手册Ⅰ
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顺
〈序5
认进
〉确 外形基准位置、 行示教（
对
准位置）。
在〈顺序 2〉变更了停止挡块位置时，需要进行「外形基准位置」的示教（对准位置）。
可在操作画面上通过触摸屏进行示教，也可使用 HOD（选购项）进行示教。
☆ 通过操作画面上（触摸屏）进行操作时
① 请搬入基板。
② 从生产画面的菜单栏中选择[支援生产]-[简易准备]。
③ 显示设置外形基准位置画面。
④ 从显示有示教按钮的对话框里执行示教。
⑤ 显示出示教画面。
选择「外形基准位置」。
把画面上的光标对准「Ｘ（停止挡销）」。
※X 停止挡销 ＝ 挡块
通过鼠标移动光标并点击，或
直接触摸「示教」按钮。
通过鼠标移动光标并点击，或
直接触摸「CAMERA」按钮。
移动按钮。