4OM-GXH-1S使用说明书.pdf - 第111页

1-59-1 0603-001 4.6 真空过滤器的更换步骤 4.6 真空过滤器的更换步骤更换时期请每隔三个月进行一次更换。真空过滤器 Fig.4A59 过滤器支架准备物品过滤器装卸治具 Fig.4A60 过滤器装卸治具更换步骤 (1) 向左滑动过滤器紧固件，解除过滤器支架的锁定。过滤器的锁定解除状态过滤器的锁定状态 Fig.4A61 Notice 滑动过滤器紧固件时，请注意不要碰撞配线等。

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4.5 线传感器的清扫

(22) 确认教示结果时，请按 [ 教示结果显示 ] 按钮。

显示教示结果，可以进行补正值数据的确认。

Fig.4A58“传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面

( 按了 [ 教示结果显示 ] 按钮时 )

(23) 按结束按钮。

进行了教示时，显示教示数据的 “保存确认” 界面，因此在 [ 是 ]、

[ 否 ] 中选择一个。

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4.6 真空过滤器的更换步骤

更换时期

请每隔三个月进行一次更换。

真空

过滤器

Fig.4A59 过滤器支架

准备物品

过滤器装卸治具

Fig.4A60 过滤器装卸治具

更换步骤

(1) 向左滑动过滤器紧固件，解除过滤器支架的锁定。

过滤器的锁定解除状态过滤器的锁定状态

Fig.4A61

Notice

滑动过滤器紧固件时，请注意不要碰撞配线等。

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(2) 在过滤器支架的插入孔插入过滤器装卸治具，向上拔出。

过滤器支架的插入孔

抜出时的图像

过滤器装卸治具

Fig.4A62

(3) 更换拔出的过滤器支架的真空过滤器 ( 两个 )。

(4) 用过滤器装卸治具插入过滤器支架时，使过滤器支架的大一

些的插入孔朝向外侧并插入到底 ( 最下限 )，以免插入不完

全。

Notice

请注意不要碰撞电子管等配线。另外，请注意配线不要被挂到

上部模块的上下。

过滤器紧固爪高于过滤器

支架上面。

过滤器支架的上面高于

过滤器紧固爪。

过滤器紧固爪

Fig.4A63

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4.6 真空过滤器的更换步骤