4OM-GXH-1S使用说明书.pdf - 第113页

1-59-3 (5) 试着按旋转方向转动，确定不旋转时，拔出过滤器装卸治具，拔出时注意不要使插入的过滤器支架悬浮。 (6) 注意以下几点，向右滑动过滤器紧固件，锁定过滤器支架。 • 过滤器紧固爪是否到达过滤器支架上面的中间位置。 • 球塞套是否被锁住。球赛套锁定状态向右滑动过滤器紧固件过滤器的锁定解除状态过滤器的锁定状态过滤器紧固爪锁定位置 Fig.4A64 滑动时，若过滤器紧固爪碰到过滤器支架侧面而无法锁定时，可能…

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(2) 在过滤器支架的插入孔插入过滤器装卸治具，向上拔出。

过滤器支架的插入孔

抜出时的图像

过滤器装卸治具

Fig.4A62

(3) 更换拔出的过滤器支架的真空过滤器 ( 两个 )。

(4) 用过滤器装卸治具插入过滤器支架时，使过滤器支架的大一

些的插入孔朝向外侧并插入到底 ( 最下限 )，以免插入不完

全。

Notice

请注意不要碰撞电子管等配线。另外，请注意配线不要被挂到

上部模块的上下。

过滤器紧固爪高于过滤器

支架上面。

过滤器支架的上面高于

过滤器紧固爪。

过滤器紧固爪

Fig.4A63

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4.6 真空过滤器的更换步骤

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(5) 试着按旋转方向转动，确定不旋转时，拔出过滤器装卸治具，

拔出时注意不要使插入的过滤器支架悬浮。

(6) 注意以下几点，向右滑动过滤器紧固件，锁定过滤器支架。

•

过滤器紧固爪是否到达过滤器支架上面的中间位置。

•

球塞套是否被锁住。

球赛套锁定状态

向右滑动过滤器紧固件

过滤器的锁定解除状态过滤器的锁定状态

过滤器紧固爪锁定位置

Fig.4A64

滑动时，若过滤器紧固爪碰到过滤器支架侧面而无法锁定时，

可能是因为插入孔进入异物或过滤器支架没有完全被压进

去。

请确认碰撞的过滤器支架，若插入孔进入异物时，清扫过滤

器支架。

结束清扫后以及确认没有进入异物时，请从步骤 (4) 开始重

新进行。

Notice

若没有正常安装过滤器支架，有时就会发生吸取错误或过滤器被拔出

来碰到安装头导致损坏，因此请注意。

4.6 真空过滤器的更换步骤

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5. 消耗元件和重要保修品

5.1 消耗元件列表

一年内可能消耗完的元件列表。

购买时，请联系株式会社日立高新技术的营业部门或销售代理店。

Table 4A14

Note

(a) 建议数为参考值。

(b) 有关元件的更换方法，请参照“3. 维护保养部位”及“4. 维护

保养方法”章节。

人员。

品名元件编号元件名使用数

建议数 / 年

Note(a)

立体分解图

备注

吸嘴 (HA10)

吸嘴 (PV01)

吸嘴 (HV01)

吸嘴 (PV02)

吸嘴 (HV02)

吸嘴 (HV03)

吸嘴 (HB03)

吸嘴 (HB04)

吸嘴 (HA04)

吸嘴 (HA05)

吸嘴 (HA09)

吸嘴 (PA05)

吸嘴 (PA07)

吸嘴 (HA11)

真空过滤器

氟片

聚氨酯夹板

扁平环

切割器刀片

切割器部

摇动侧

滚轴用

Note(c)