JM-20 操作说明书 Rev06.pdf - 第255页
操作手册 Ⅱ 2- 222 (1 ) 操作 1) 传送动作 选择传送 动作。可选择搬入 、搬出基板、释放基板、重夹 、 HMS 夹紧 (L 规格 ： 选购项 、 XL 规格 ： 标准 ) 。 启动时（默认） 选择「 搬入 」 。 2 ) 搬入后的 B OC 校准设置 选择基板刚搬入 后是否立即执 行 B OC 校准。 ● 「 按选项 执行 」 按照操作选项的 设置决定是 否进行 B OC 标记识别。 ● 「必须执行」 必须进行 BOC …
操作手册Ⅱ
2-221
2-5-4-1 传送
2-5-4-1-1 基板控制
可进行基板的搬入、搬出。选择菜单后，如果安全盖在打开的状态，为了将轴移动到安全位置等
待，会显示如下画面。
请确认安全后，按下[继续]按钮。
将轴移动到安全位置等待后，会显示下列基板传送画面。
操作手册Ⅱ
2-222
(1)
操作
1)
传送动作
选择传送动作。可选择搬入、搬出基板、释放基板、重夹、HMS 夹紧(L 规格：选购项、XL 规格：
标准)。
启动时（默认）选择「搬入」。
2)
搬入后的 BOC 校准设置
选择基板刚搬入后是否立即执行 BOC 校准。
● 「按选项执行」
按照操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
● 「必须执行」
必须进行 BOC 标记识别。
● 「不执行」
不执行 BOC 标记识别。
3) 基板基准、传送方向
显示传送道路信息。
(2)
显示传送动作
(3) 状态
逐项显示当前的基板传送内容及动作状况。
·
按
< START >
开关或
[
执行
]
按钮进行传送。
·
要结束操作时，请按
[
关闭
]
按钮。
·
在传送过程中因某种原因想取消操作时，可按
< STOP >
开关停止。
操作手册Ⅱ
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2-5-4-1-2 自动调整基板宽度
可调整基板传送宽度。
选择菜单后，显示如下的画面。
(1)
移动基板幅度
将传送宽度向基板外形尺寸+余宽的位置移动。运行时传送宽度值适用以下项目设定值。
(2)
基板外形尺寸
设定基板外形尺寸。初始值设定为基板数据中的基板外形尺寸(Y)。
(3)
余宽
设置基板与传送轨道之间的余宽。
余宽适用于生产条件。
<步骤>
① 输入基板外形尺寸。
②
需要变更余宽
时，请设置余宽。
③ 单击“移动”。
(未进行“宽度回原点”时，
应先进行宽度回原点)。