JM-20 操作说明书 Rev06.pdf - 第291页
操作手册 Ⅱ 2- 258 完成检查后显示如下检查 结果画面 。 a) 检查元件 显示元件内容以及吸取位 置。 b) 检查内容 显示确认速度时 使用的检查内容 。 c ) 检查结 果 显示确认速度时的测量结 果的数值。显 示 XY θ 的偏差量。 显示吸取上升时 吸取是否成功的 检查结果 。 d ) 确定( [F9 ] 键) 使检查结果成为有效值, 并将结果存入元 件数据中 。然后返回原来 的确认速度画面 。 (更新后的内容 为检查内容…

操作手册Ⅱ
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4) 设置元件归还
设置对尺寸在1mm以下的极小元件在测量后如何处理。
● 每次归还
元件每次都被归还到原来的位置。
● 每次废弃
元件每次都被废弃。
● 每次询问
每次测量结束后进行询问。
5)[检查]按钮([F10] 键)
执行检查。
确认速度时会出现下列对话框,显示正在确认速度的元件内容及吸取位置,逐项地实时显示运
行中的处理内容。
要强行中断时请按<STOP>开关(停止开关),显示如下对话框后,从对话框中选择是否要中
断。

操作手册Ⅱ
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完成检查后显示如下检查结果画面。
a) 检查元件
显示元件内容以及吸取位置。
b) 检查内容
显示确认速度时使用的检查内容。
c) 检查结果
显示确认速度时的测量结果的数值。显示 XYθ 的偏差量。
显示吸取上升时吸取是否成功的检查结果。
d) 确定([F9] 键)
使检查结果成为有效值,并将结果存入元件数据中。然后返回原来的确认速度画面。
(更新后的内容为检查内容显示的轴速度。)
e) 取消([ESC] 键)
使检查结果无效,并返回原来的确认速度画面。

操作手册Ⅱ
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f) 变幻线
从激光单元取得检测(SWEEP)数据,显示元件轮廓的图(变幻线)。
g) [前代替元件] 按钮、[后代替元件] 按钮
如果当前显示中的元件有代替元件时,显示此项。
h) [返回] 按钮([ESC] 键)
结束检查,返回原来的画面。