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SIPLACE S W S Software 2.1 / Versions beschreibun g / Version Des cription Ausgabe Feh ler! Unb ekannter Nam e für Dokum ent - Eigens 11 4.6 Mapped Wa fer - Referenzpunk te 4.6.1 4 Referenzpun kte t eachbar Die SW S Soft…
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4 Leistungsmerkmale der SWS Software 2.0
Die SWS Software 2.0 beinhaltet alle Funktionen der SWS Software 1.2. Nachfolgend sind die
wichtigsten neuen Leistungsmerkmale der SWS Software 2.0 aufgeführt.
4.1 LAN-Anbindung an Stationssoftware 707
Die SWS-Software unterstützt neben der Anbindung an Maschinen über CAN mit Stationssoftware
605 SP5 auch die Anbindung an Maschinen via LAN mit Stationssoftware 707.
4.2 Verwaltung von 2 unterschiedlichen Übergabepositionen
Mit der Stations-Software 707 und der SWS Software 2.0 werden bei einem Betrieb mit 2 Pipetten
2 unterschiedliche Übergabepositionen verwaltet. Damit kann die Übergabeposition pro Pipette
eingestellt werden.
4.3 Betrieb mit 2 Pipetten
Die SWS Software unterstützt den Betrieb mit 2 Pipetten.
4.4 Frame-Offsetkompensation für Start-Dies
Die SWS Software unterstützt die Frame-Offsetkompensation beim Teachen für Start-Dies bzw.
Referenzpunkte mit statischer Anfangsposition.
4.5 Waferranderkennung für 4-eckige Wafer
Die SWS Software unterstützt die Waferranderkennung für 4-eckige Wafer und Ellipsen.
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4.6 Mapped Wafer - Referenzpunkte
4.6.1 4 Referenzpunkte teachbar
Die SWS Software unterstützt das Teachen von vier Referenzpunkten anstelle von bisher drei
Referenzpunkten.
4.6.2 Referenzpunkte aus der Wafermap übernehmen
Die SWS Software unterstützt das Übernehmen von Referenzpunkten aus der Wafer-Map,
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4.7 Mapped Wafer – Referenzierungs- und Iterationsoptionen
4.7.1 Begrenzung des Suchverfahrbereichs im Rahmen der
Waferreferenzierung möglich
Wenn ein Referenzpunkt an der theoretischen Position nicht gefunden werden kann, wird eine
Suche um die theoretische Position herum angestoßen, bei der der Kreuztisch spiralförmig
verfährt.
4.7.2 Referenzierung nach Waferwechsel erzwingen
Mit der Option Referenzierung erzwingen wird bei jedem Waferwechsel der Wafer neu
referenziert. Hierdurch kann die Ungenauigkeit der Waferklemmung kompensiert werden.
4.7.3 Nichtlineare Verzüge verbieten
Mit der Option Nichtlineare Verzüge verbieten überprüft die SWs Software, ob der Abstand oder
die Verzerrung zwischen den einzelnen Referenzpunkten so unterschiedlich ist, dass eine
unterschiedliche Anzahl von Dies in den Reihen und Spalten vorhanden sind. Ist diese Option
aktiviert, dann wird in diesem Fall die Referenzierung abgebrochen.