00195987-02_VB_SWS_Software_2.1_DE_EN.pdf - 第13页
SIPLACE S W S Software 2.1 / Versions beschreibun g / Version Des cription Ausgabe Feh ler! Unb ekannter Nam e für Dokum ent - Eigens 13 4.8 Plain Wafer 4.8.1 Feste - Wafer - Map - Koordinaten verwenden Mit dieser O ptio…
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4.7 Mapped Wafer – Referenzierungs- und Iterationsoptionen
4.7.1 Begrenzung des Suchverfahrbereichs im Rahmen der
Waferreferenzierung möglich
Wenn ein Referenzpunkt an der theoretischen Position nicht gefunden werden kann, wird eine
Suche um die theoretische Position herum angestoßen, bei der der Kreuztisch spiralförmig
verfährt.
4.7.2 Referenzierung nach Waferwechsel erzwingen
Mit der Option Referenzierung erzwingen wird bei jedem Waferwechsel der Wafer neu
referenziert. Hierdurch kann die Ungenauigkeit der Waferklemmung kompensiert werden.
4.7.3 Nichtlineare Verzüge verbieten
Mit der Option Nichtlineare Verzüge verbieten überprüft die SWs Software, ob der Abstand oder
die Verzerrung zwischen den einzelnen Referenzpunkten so unterschiedlich ist, dass eine
unterschiedliche Anzahl von Dies in den Reihen und Spalten vorhanden sind. Ist diese Option
aktiviert, dann wird in diesem Fall die Referenzierung abgebrochen.
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4.8 Plain Wafer
4.8.1 Feste-Wafer-Map-Koordinaten verwenden
Mit dieser Option kann eine Verknüpfung von Start -Die-Position und der Wafer-Map-Koordinate
erzwungen werden.
Hintergrund:
Ohne diese Option (Standard) wird beim Festlegen des Startdies bei manueller bzw. automatischer
Wafer-Referenzierung, die Wafermap-Die-Koordinaten aus dem theoretischen Mittelpunkt
errechnet. Sollte der Wafer schlecht in dem Rahmen montiert worden sein und eine Wafer-
Randerkennung nicht durchgeführt werden können (z.B. Kunsstoff-Wafer mit sehr breiten
Sägestraßen) werden zu viele Dies vom Wafer abgenommen oder es werden sehr große Bereiche
des Wafers abgefahren in denen sich aber keine Dies befinden.
Diese wird mit der Option Feste-Wafer-Map-Koordinaten verwenden verhindert.
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5 Leistungsmerkmale der SWS Software 2.1
Die SWS Software 2.1 beinhaltet alle Funktionen der SWS Software 2.0. Nachfolgend sind die
wichtigsten neuen Leistungsmerkmale der SWS Software 2.1 aufgeführt.
HINWEIS
Detaillierte Angaben zu einzelnen Funktionen entnehmen Sie bitte der Softwareanleitung
"SIPLACE SWS Software 2.1 [Artikel Nr.: 00195986-02].
5.1.1 Überarbeitung der Schnittstelle zum Wafer-Map-Server
Die Menüführung unter Manuelle Einstellung => Parameter Testkamera wurde vereinfacht. Die
Einstellungs- und Überwachungsmöglichkeiten wurden überarbeitet.
Die Option Verbindungseinstellungen => SIPLACE Wafer System wurde erweitert. Es werden
jetzt auch passive Verbindungen zum Wafer-Map-Server unterstützt.