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维修调整要领书 9-7 9-3 ． 滤清器的更换 1 ） 以便把滑动部下降，以便把主体向左或右转动４５度然后拔下来三。 2 ） 更换空气滤清器侧的滤清器Ｂ时，向左转动固定滤清器Ｂ的树脂零件就可以卸下来。 3 ） 更换微喷雾器侧的滤清器时，把滤清器向左转动就可以卸下来。 4 ） 安装时，请按照相反的程序进行。 注 ) 作业之前，请关闭蝶阀。 滤清器的寿命为 2 年或压力下降到 0.1MPa (1kgf/cm 2 ) 后。 图 9 -2- …
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2. 显示单位的设置
① 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【F 0】，按『S』按钮。
② 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示右图(kpa 之意），按『S』按钮。
(F0 的设置完成）
3. 输出信号 OUT1 的设置
① 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【F 1】，按『S』按钮。
② 输出方式的设置：请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【HYS】，按『S』按钮。
③ 输出逆转的设置：请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【1_P】，按『S』按钮。
④ 压力的设置：请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【-60.0】，按『S』按钮。
⑤ 差动的设置：请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【5.0】，按『S』按钮。
⑥ 显示颜色的设置：请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【Sor】，按『S』按钮。
(F1 的设置完成）
4. 响应时间的设置
① 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【F 3】，按『S』按钮。
② 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【2.5】，按『S』按钮。(F3 的设置完成）
5. 自动预调功能的设置
① 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【F 5】，按『S』按钮。
② 请按『△』按钮或『▽』按钮使显示【oFF】，按『S』按钮。(F5 的设置完成）
6. 转移到通常方式(测定方式）
① 请持续按『SET』按键 2 秒钟以上。回到测定方式。
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9-3．
滤清器的更换
1） 以便把滑动部下降，以便把主体向左或右转动４５度然后拔下来三。
2） 更换空气滤清器侧的滤清器Ｂ时，向左转动固定滤清器Ｂ的树脂零件就可以卸下来。
3） 更换微喷雾器侧的滤清器时，把滤清器向左转动就可以卸下来。
4） 安装时，请按照相反的程序进行。
注) 作业之前，请关闭蝶阀。
滤清器的寿命为 2 年或压力下降到 0.1MPa (1kgf/cm
2
) 后。
图 9-2-1 滤清器
图 9-3-1 滤清器
空气滤清器 微喷雾器
PF901006000
滤清器B
PF901010000
滤清器
树脂零件
滑动部
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9-4．
真空泵零件的更换
下列损耗性零件的大体更换期限为使用开始后 1 年。请参照如下工序进行更换、清洁。
更换所需的零件，全部包含在损耗性零件包货号（40068178）内。
【更换零件一览表】 （更换零件组货号：40068178）
表 9-4-1 真空泵损耗零件
点检位置
使用数量
点检内容
点检方法
吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视
排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
皮碗式密封件 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
垫圈 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
吸气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
外
部
尼龙软管 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
消音器 1 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
<更换准备>
1） 请确认①真空泵没有运转。
（因为稍微运转后就会变热所以请注意。）
2） 请打开电气部分护罩。
图 9-4-1 真空泵
3） 取下与真空泵相连接的空气软管，用六角扳手拆下②泵支撑装置。
4） 把真空泵从主体中拆卸下来。（拆卸的时候要注意扎线。）
SL6061292TN
带垫片内六角螺栓 M6×12
②泵支架
① 40047064
真空泵组件
WP0841601SC
平垫圈 M8