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维修调整要领书 3- 10 3-5 . 贴装头电路板的更换 3-5 -1 . 贴装头主电路板的更换 1 ) 先拆下①圆头螺钉(× 6 )、②加紧器(× 2 ),再拆卸主保护罩。 2 ) 先拆下各种插头,然后拆下③带垫片内六角螺钉(× 6 )后拆贴装头主电路板。 3 ) 装配请按相反的步骤进行。 ※ 贴装头主电路板在出库时都是调整好的,所以不需要进行调整作业。 如有故障,请按照 QA 表 10-8 页 “ Head 真空电平以及温度传感器…

维修调整要领书
3-9
3-4-3.
贴标签
请把标签脱脂后贴到贴标签部位。(图为 LF、RR 贴装头)
LF、RR 贴装头与扎线的引出方向是相反的。密封标签请贴在正面可以看到的方向。
图 3-4-3-1 放大器的更换(左:标签/右:贴了标签后)
3-4-4.
HMS 高度调整
在 CAL 部上移动 HMS 传感器,传感器下面到 CAL 部上面的距离为40±0.2mm。请拧松 2 处的
①带垫片内六角螺钉,调整到规定值。此时,FAR灯和NEAR灯均亮灯,请进行确认。调整后,
用 2 处的①带垫片内六角螺钉进行固定。
图 3-4-4-1 HMS 传感器高度调整
调整后,请输入MS参数,HMS偏差值。输入请参照MS参数。
为了防止对人体造成伤害,触摸屏、HOD 操作时,请勿将手伸进机器内,也不
要将脸和头部靠近机器。
40
±0.2㎜
①SM6032002TN
内六角螺栓 M3×20
CAL 部上面
【HMS传感器指示灯 点灯状态】
NEAR/FAR 两灯都亮: 测定中心距离±1mm
NEAR 灯亮: 测定范围内近距离
FAR 灯亮: 测定范围内远距离
NEAR/FAR 两灯都不亮: 测定范围外
FAR 灯 NEAR 灯
图 3-4-4-2 透镜指示灯
注意

维修调整要领书
3-10
3-5.
贴装头电路板的更换
3-5-1.
贴装头主电路板的更换
1) 先拆下①圆头螺钉(×6)、②加紧器(×2),再拆卸主保护罩。
2) 先拆下各种插头,然后拆下③带垫片内六角螺钉(×6)后拆贴装头主电路板。
3) 装配请按相反的步骤进行。
※ 贴装头主电路板在出库时都是调整好的,所以不需要进行调整作业。
如有故障,请按照 QA 表 10-8 页“Head 真空电平以及温度传感器输出电平”进行检查。
图 3-5-1-1 主保护罩
图 3-5-1-2 贴装头主电路板的更换
①SM3040652TN
圆头螺钉 M4×6
②加紧器
主保护罩
③SL4030691SC
带垫片内六角螺钉
M3×6
40047506
贴装头主电路板组件

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3-11
3-6.
ZT 驱动电路板的更换
3-6-1.
ZT 驱动电路板的更换
1) 请参照 02 章 2-1 贴装头装置的更换和更换后的调整 1)~6)、14)、16)。
2) 从 ZT 驱动支撑装置中拆下①带垫片内六角螺钉(×8),然后请拆下 ZT 驱动电路板。
※ ZT 驱动器电路板须要调整微调电容器。请根据“13-6 Z/θ 装置”进行调整。
3) 装配请按相反的步骤进行。
图 3-6-1-1 驱动电路板更换
①SL4030691SC
带垫片内六角螺钉 M3×8
40044535
4 轴整体型伺服放大器
ZT 驱动支撑装置
微调电容器