3_AVS_V2_MFU_BA-intern_DE_07-2019.pdf - 第99页

ASM AVS - B EDIENUNGSANLEITUNG S EITE 99 V ON 182 h. Gau ß (G loc ken kurv e ): Zei gt d as E rge bnis der selek tie r ten Mes sung, ab hängig vo n de n Fi ltere ins tell unge n ober hal b. Für die B ewe rtung de s Dia g…

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ASM AVS - BEDIENUNGSANLEITUNG
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g. X-Y Plot:
Zeigt das Ergebnis der selektierten Messung, abhängig von den Filtereinstellungen
oberhalb. In diesem Diagramm werden das Ergebnis für X- und Y-Achse in einem
Graphen zusammen angezeigt. Für die Bewertung des Diagramms in Bezug auf die
Hilfslinien gelten dieselben Grundsätze wie for das "Einzelwert Diagramm".
Sigma Grenze
Die Sigma Grenze wird
in einem Kreis darge-
stellt (Ellypse).
Specification limits (Nom-
inal value), red lines
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h. Gauß (Glockenkurve):
Zeigt das Ergebnis der selektierten Messung, abhängig von den Filtereinstellungen
oberhalb. Für die Bewertung des Diagramms in Bezug auf die Hilfslinien gelten dieselben
Grundsätze wie für das "Einzelwert Diagramm".
Grundsätzlich gilt:
• Je enger und höher eine Glockenkurve, desto besser ist das Ergebnis.
• Die Spitze der Kurve sollte idealerweise im Zentrum um den Null-Wert liegen.
Sigma Grenzen
Gauss’sche Glockenkurve
(Normalverteilung)
Spezifkations-
Grenzen (Sollwerte)
Anzahl an Messpunkten
(hier in 6µm Schritten)
Mean
(Durchschnitt)
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5.2.24.1.6 Projekt - Bericht
Alle über den Button „=> Report“ gesammelten Ansichten aus dem Reiter “Analyse” werden
hier im Reiter “Bericht” aufgelistet.
• Die unterschiedlichen Kapitel des Protokolls können an- und abgewählt werden.
• Es kann auch ein erklärender Text bezüglich Zertifizierung der Messmittel zum Report
hinzugefügt werden. Dieser Text steht als Vorlage im Reiter “Fähigkeit” zu Verfügung. Der
Text ist editierbar.
• Die “Report Daten” werden schließlich in der Tabelle aufgelistet.
Jede Zeile steht für eine mit dem Button „=> Report“ hinzugefügte Ansicht.
Jeder Eintrag kann hier mit Hilfe der Checkbox in der ersten Spalte deaktiviert werden.
Weiter können einzelne (markiert mit der Checkbox), oder alle Einträge aus der Liste ge-
löscht werden.
Die Reihenfolge der Einträge kann über die Schalter „Up“ „ Down“ geändert werden.
HINWEIS / NOTICE
Reihefolge der Einträge
Die Anteile am Report können frei sortiert werden. Jedoch gibt es eine Einschränkung, dass Als Eintrag 1
stets das Recipe Layout stehen muss und an Stelle 2 eine Statistic. Er Rest ist frei.
HINWEIS / NOTICE
Denken Sie immer daran, nach einer Änderung in der Tabelle, die “OK” Taste zu Drücken, damit die Ände-
rungen auch übernommen werden.
Drücken Sie den Button „Erstellen…“ in der
Menü-Leiste um einen Report als *.pdf Datei
zu erzeugen.
Die Datei wird unter den Namen des Projekts
im Projekt-Ordner gespeichert (Datum Uhr-
zeit). See 5.2.24.2.3 Projekt abschließen.
See 5.2.24.2.3 Projekt abschließen.