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维修调整要领书 12 - 51 12 - 12 -3 更换真空泵 配件 由于以下配件损 耗导致压力降低时， 要考虑更换。 < 损耗配件列 表 > 更换 配件套装品号 ： 4O13 8 O4 5 检查位置 使用数量 检查 内容 检查 方法 碗型垫圈 2 有无异常磨损、 硬化、龟裂等 目视 气缸垫圈 2 有无变形、硬化 、龟裂等 目视 吸排气阀 2 有无变形、硬化 、缺损 目视 O 环 S- 67 2 有无变形、磨损 、硬化、龟…
维修调整要领书
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更换过滤器滤芯
1) 请关闭手动阀的旋钮。
2) 按住把手部分，向左右任意方向旋转 45 度拔出。
3) 将固定过滤器滤芯 B 的树脂配件向左旋转，拆下过滤器滤芯 B，将过滤器滤芯 A 本身向左旋转拆下
过滤器滤芯 A。
4) 安装时，请按照逆向步骤进行操作。
过滤器滤芯 A
PX5000630A0
过滤器滤芯 B
PX500064000
树脂部分
把手部分
打开状态 关闭状态
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更换真空泵配件
由于以下配件损耗导致压力降低时，要考虑更换。
<损耗配件列表>
更换配件套装品号：4O138O45
检查位置
使用数量
检查内容
检查方法
碗型垫圈
2
有无异常磨损、硬化、龟裂等
目视
气缸垫圈
2
有无变形、硬化、龟裂等
目视
吸排气阀
2
有无变形、硬化、缺损
目视
O
环
S-67
2
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目视
Head
垫圈
2
有无变形、硬化、龟裂等
目视
● 真空泵的更换准备
1) 请确认真空泵没有在运转。（由于运转后泵内部很热，请在停止后放置约 3O 分，确认泵冷却后
再进行操作）
2) 请拆下机器主机前侧、右下部的护罩。
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3) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器，松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2)，
卸下泵支架。
六角凹头螺栓（M6×2）
泵支架
气管
电源接头