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1-1-3 5OM-1839 1603-001 エア配管図及び実装図 本体 ( エア配管図 ) A エア/真空切替バルブ P R Φ１０（青） 300mm Φ８（青） 2000mm ヘッド（２１） ヘッド（２１） 排気 ヘッド（１２） ヘッド（１１） ヘッド（１１） ヘッド（２２） Φ８（青） 720mm Φ6 770mm Φ6 400mm Φ８（青） ４００ｍｍ Φ6 70mm Φ１０（青） 1200mm Φ6 400mm Ø8 (青…
1-1-2
5OM-1839
1603-001
エア配管図及び実装図
本体 ( エア配管図 )
KQ2L08-99
ホースニップル
KQ2H10-02S
12
12
12
12
12
22
カッター（１１）
位置決め（１）
KQ2H06-00
21
KQ2H06-00
21
KQ2H06-00
21
12
12
12
12
12
11
11
11
11
11
11
13
13
13
23
KQ2P-06
仕様４
Φ6
26
KQ2U06-08
21
KQ2U06-08
Φ8
KQ2U08-00
25
KQ2U06-00
24
ヘッド（１２）
KQ2U06-00
24
KQ2U08-00
25
KQ2H06-00
21
26
KQ2U06-08
KQ2U06-08
26
7
KQ2H08-00
KQ2T10-08
KQ2U06-08
KQ2U08-00
7
仕様６
仕様７
KQ2H08-00
23
22
25
1
2
26
Φ8
カッター（２１）
カッター（１２）
カート一括
コネクタ（１）
カッター（２１）
位置決め（２）
ヘッド（２２）
カート一括
コネクタ（２）
Φ6
40mm
Φ8
40mm
Φ6
40mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
Φ6
100mm
Φ6
150mm
ノズルストッカ
（１２）（２２）
ノズルストッカ
（１１）（２１）
Φ8
40mm
Φ8
950mm
Φ8
700mm
Φ8
1830mm
Φ8
1630mm
Φ8
2450mm
搬送
（基板Ｚクランプ、基板ストッパ）
Φ6
2000mm
Φ6
Φ6
800mm
KQ2P-10
KQ2L08-99
Φ8
200mm
Φ8
3200mm
Φ10
400mm
Φ10
1400mm
Φ10
150mm
Φ8
200mm
Φ8
2600mm
Φ8
350mm
Φ10
120mm
KQ2H06-M5
KQ2L10-02S
KQ2L06-01S
KQ2L08-02S
KQ2L08-02S
KQ2H08-02S
KQ2L10-02S
KQ2L06-02S
KQ2H06-M5
仕様２
応差(H_ 1):0.000
設定
0.05MPa
0.45MPa
(Φ6)
設定
仕様２
仕様３
0.35MPa
設定
(Φ6)
(Φ8)
仕様２
1-1-3
5OM-1839
1603-001
エア配管図及び実装図
本体 ( エア配管図 )
A
エア/真空切替バルブ
P
R
Φ１０（青）
300mm
Φ８（青）
2000mm
ヘッド（２１）ヘッド（２１）
排気
ヘッド（１２）
ヘッド（１１） ヘッド（１１）
ヘッド（２２）
Φ８（青）
720mm
Φ6
770mm
Φ6
400mm
Φ８（青）
４００ｍｍ
Φ6
70mm
Φ１０（青）
1200mm
Φ6
400mm
Ø8 (青)
400mm
Φ6
2000mm
Φ８（青）
2000mm
Φ6
150mm
Φ6
70mm
Φ6
70mm
Φ８（青）
70mm
Φ6
70mm
Φ6
150mm
Φ8
100mm
φ6 (青)
1100mm
Φ１０（青）
2050mm
Φ8
500mm
A
エア/真空切替バルブ
P
R
A
エア/真空切替バルブ
P
R
A
エア/真空切替バルブ
P
R
KQ2H06-02S
KQ2H08-02S
KQ2H08-01S
KQ2H06-M5
MBA1403
MPG14
KQ2R06-10
MHQ1410
KQ2L10-03S
11
11
11
11 15
11
11
11
24
24
11
14
15
15
28
15
16
15
15
16
15
24
KQ2U06-00
KQ2U06-00
24
KQ2U06-00
19
3
4
KQ2H08-00
22
21
KQ2U08-10
22
KQ2U06-00
24
4
4
4
22
KQ2H08-00
KQ2H06-00
KQ2H08-00
KQ2H06-00
22
21
KQ2H08-00
22
KQ2U08-10
27
KQ2H06-02S
KQ2H08-01S
KQ2H06-M5
KQ2H06-02S
KQ2H08-02S
KQ2H08-02S
KQ2H08-02S
KQ2H08-01S
KQ2H06-M5
KQ2H06-02S
KQ2H08-01S
KQ2H06-M5
No. 名 称 個数 No. 名 称 個数 No. 名 称 個数 No. 名 称 個数
1 エア供給ユニット 1 6 マニホールドユニット 1 23 異径チーズ 1
2 エア供給ユニット 1 7 マニホールドユニット 1 24 ユニオンワイ 6
2-1 真空ゲージ 1 11 チューブφ 6 1 25 ユニオンワイ 3
2-2 コンビネーションユニット 1 12 チューブφ 8 1 26 異径ユニオンワイ 5
2-3 圧力スイッチ 1 13 チューブφ 10 1 27 異径ユニオンワイ 2
2-4 圧力ゲージ 1 14 チューブφ 6(BU) 1
2-6 レギュレータ 1 15 チューブφ 8(BU) 1
2-7 レギュレータ 1 16 チューブφ 10(BU) 1
3 真空ポンプユニット 1 21 ストレート 6
4 ソレノイドバルブユニット 4 22 ストレート 6
1-1-4
5OM-1839
1603-001
エア配管図及び実装図
本体 ( 実装図 )
1
1-4
1-1
1-3
1-2
3-1
3-5
3-4
3-3
3-6
2-4
2-9
2-6
2-8
2-3
2-11
2-9
2-2
2-10
2-7
2-1
2-5
3-2
3-1
3
2
No. 名 称 個数 No. 名 称 個数 No. 名 称 個数 No. 名 称 個数
1 エア供給ユニット 1 2-5 レギュレータ 1 3-3 ユニバーサルクイック 3
1-1 コンビネーションユニット 1 2-6 エルボユニオン 1 3-4 プラグ 1
1-2 メスオスエルボ 1 2-7 ハーフユニオン 2 3-5 エルボユニオン 1
1-3 カタクチホースニップル 1 2-8 ハーフユニオン 1 3-6 レジューサ 1
1-4 ハーフユニオン 1 2-9 エルボユニオン 1
2 エア供給ユニット 1
2-10
エルボユニオン 1
2-1 真空ゲージ 1
2-11
エルボユニオン 2
2-2 コンビネーションユニット 1 3 真空ポンプユニット 1
2-3 圧力スイッチ 1 3-1 真空ポンプ 1
2-4 圧力ゲージ 1 3-2 ブッシュ 1