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5OM-1839 2-B 1603-001
5OM-1839
2-A1603-001
2 章
センサ負荷配置図
この章では、各部のセンサおよび負荷配置図を記載しています。
高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分ご注意ください。
5OM-1839
2-B1603-001
2-1-1
5OM-1839
1603-001
真空ポンプ
正面
マニーホールド1
マニーホールド2
真空/一括
排気バルブ
エアーキョウキュウ2
エアーキョウキュウ1
Ｓ141
Ｍ66
Ｙ0938
Ｙ0939
真空/一括
排気バルブ
Ｙ0638
Ｙ0639
センサ負荷配置図
記 号 名 称 記 号 名 称
M66 真空ポンプ
Y0638 真空 / 一括廃棄切替 Y0938 真空 / 一括廃棄切替
Y0639 高速 / 多機能切替 Y0939 高速 / 多機能切替
S141 エア圧低下検出
架台下レイアウト