N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第107页
SPG EJP6AC-MB-0 5TS-00 5-1 -2 箭头图 A K604 K603 K601 K602 箭头图 B 设备部 前面图 负 荷 配 置 表 G102 G101 B1035 B1110 B1146 B1142 B1033 A B F4012
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
5-1-1
S302
S301
B1014
S201
B1015
S303
S104
S101
S102
S103
S304
S305
负荷
配置图
负荷配置图 1
故障排除篇
5-1
全体安全盖
前面图 后面图
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
5-1-2
箭头图A
K604
K603
K601
K602
箭头图B
设备部
前面图
负
荷
配
置
表
G102
G101
B1035
B1110
B1146 B1142
B1033
A
B
F4012
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
A
C
B
箭头图A 箭头图B
箭头图C
K404
K405
K406
K401
K403
K402 G201
R5001
F4112
F4116
F4134
F4115
F4136
F4110
R4137
R4144
简易基板吸着规格
5-1-3
负荷
配置图
负荷配置图 2
故障排除篇
5-1
设备部