N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第76页
SPG EJP6AC-MB-0 3TS-01 (+)超限错误 [0x306] 轴动作中+超限传感 器被遮光。 请确认传感器的位置。 请确认传感器的连线以及传感器是 否损坏。 (-)超限错误 [0x307] 轴动作中-超限传感 器被遮光。 3-1-10 -7 状 态 2 错误信息 [Error C ode] 错误原因 检查和对策 确认和 对策 故障排除篇 3-1-10 轴错误 4
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
3-1-10-6
状
态
2
驱动器参数发送
错误
[0x406]
发送伺服放大器的参数时发送
了设定范围以外的值。
需要确认伺服放大器的设定值。请
与本公司联系。
返回原点未完
成错误
[0xf03]
返回原点未完成错误。 有时通过重新开始运转可以恢复。
重新接通电源。如果仍旧发生相
同错误，请与本公司联系。
接收数据获取
(核对求和)错
误
[0xf12]
对轴发送数据时驱动器侧获取
数据失败。
请与本公司联系。
θ轴(-)超限错
误
[0xf26]
θ轴动作中超限传感器被遮
光。
用手移动θ轴将其从超限位置上移
开。
基板输送口联
锁错误(左)
轴动作中左基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x607
R:0x609
请升起安全挡板确认安全传感器ON
后重新开始运转。
基板输送口联
锁错误(右)
轴动作中右基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x608
R:0x60A
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确
认
和
对
策
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
(+)超限错误
[0x306]
轴动作中+超限传感器被遮光。
请确认传感器的位置。
请确认传感器的连线以及传感器是
否损坏。
(-)超限错误
[0x307]
轴动作中-超限传感器被遮光。
3-1-10-7
状
态
2
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确认和
对策
故障排除篇
3-1-10
轴错误 4
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
数据设置命令未
发出错误
[0x201]
轴动作时对轴没有设定正确的
数据(数据的组合不一致)所以
不能进行轴动作。
重新接通设备电源。如果仍旧发生
相同错误，请与本公司联系。
速度指令零错误
[0x202]
轴动作时轴的速度被设定为零
所以轴不能动作。
加速度指令零错
误
[0x203]
进行轴动作时轴的加速度被设
定为零所以轴不能动作。
错误减速度零错
误
[0x205]
轴动作时错误停止用的轴的减
速度被设定为零所以轴不能动
作。
伺服准备OFF错
误
[0x304]
在无法与伺服放大器通信的状
态下试图进行轴动作所以轴动
作失败。
动作命令发送
错误(电源OFF
时)
[0xf01]
在电源OFF状态下发送了返回
原点或动作命令。
定位未完成错误
[0xf04]
轴动作完成前发出了下一个动
作命令。
3-1-10-8
状
态
2
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确
认
和
对
策