N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第72页
SPG EJP6AC-MB-0 3TS-01 相机Y轴粗原点 检测联锁错误 升降机轴动作中^升降机有可 能上升到升降机和照相机发 生干扰的区域^所以请在发生 干扰前将动作中的所有轴紧 急停止。 F:0x616 R:0x617 首先请将相机Y轴向粗原点传感器 位置移动。相机被移动后请重新开 始运转。 3-1-10 -3 状 态 2 基板止动器上 升检测联锁错 误 轴动作中^因基板止动器上升 检测传感器(输入 I/O:NO.11) 没有在O…
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
安全盖开联锁错
误
轴动作中安全盖被打开。
F:0x601
R:0x603
请将安全盖关闭后再次开始运转。
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
主气压联锁错
误
轴动作中主气压降低。
F:0x60B
R:0x60B
1)请确认是否正确供给空气。
2)请确认配管是否漏气。
3)请确认主气压的传感器是否损坏
或断线。
伺服OFF联锁错
误
轴动作中^伺服开关被置OFF。
F:0x60C
R:0x60D
请将伺服开关置ON后重新开始运
转。
3-1-10-2
状
态
2
支撑轴联锁错误
支撑轴动作中检测基板等异
物夹入情况的传感器被遮光。
F:0x60E
R:0x610
1)如果基板落到传送带上时请取出
基板。
2)请确认支撑装置(支撑块、支撑
销等)的安装位置。
3)在传送带上落有工具等时请清
除。
4)请确认传感器的连线以及传感器
是否损坏。
■在轴信息画面状态2上，显示联锁错误、参数(指令)设定错误信息。
■在轴信息画面状态3上，显示从伺服驱动器传来的报警信息。
确
认
和
对
策
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
相机Y轴粗原点
检测联锁错误
升降机轴动作中^升降机有可
能上升到升降机和照相机发
生干扰的区域^所以请在发生
干扰前将动作中的所有轴紧
急停止。
F:0x616
R:0x617
首先请将相机Y轴向粗原点传感器
位置移动。相机被移动后请重新开
始运转。
3-1-10-3
状
态
2
基板止动器上
升检测联锁错
误
轴动作中^因基板止动器上升
检测传感器(输入I/O:NO.11)
没有在ON的状态。基板止动
器一直保持在下降的状态。
F:0x61E
R:0x61F
气压正确供给的情况下请确认止动
器的上升检测传感器是否破损或断
线。
基板输送口联锁
错误(左)
轴动作中左基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x607
R:0x609
请确认安全传感器ON后重新开始运
转。
基板输送口联锁
错误(右)
轴动作中右基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x608
R:0x60A
请升起安全挡板确认安全传感器ON
后重新开始运转。
清洁装置吸引
部下限联锁错
误
因为清洁装置吸引部在溶剂
吸嘴附近有上升的可能照相
机Y轴停止。
F:0x612
R:0x613
1)请在机器调整菜单的输出确认画
面中的清洁装置吸引部上升中确
认吸引吸嘴的动作。
2)请确认清洁装置吸引部的上下驱
动部是否损坏。
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确认和
对策
故障排除篇
3-1-10
轴错误 2
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
L轴可动许可区
域联锁错误
升降机轴上升中升降机有可
能上升到升降机和照相机发
生干扰的区域所以在发生干
扰前动作中的所有轴紧急停
止。
F:0x620
R:0x621
在机器调整画面中执行原点复归
动作请重新开始运转。
3-1-10-4
状
态
2
清洁装置固定确
认联锁错误
升降机轴动作时清洁装置固
定装置没有被固定升降机轴
停止。
F:0x614
R:0x615
1)请确认清洁装置是否被固定。如
果没有被固定在机器调整菜单的
输出确认画面中清洁装置固定设
定为ON并且清洁装置连接设定为
OFF清洁装置被固定之后请重新
开始运转。
2)请确认清洁装置的固定部有无故
障。
伺服放大器异常
马达驱动器检查出有过电流
等现象产生。因机械方面的
原因，造成轴的动作不灵活。
驱动器或马达发生了故障。
可判断为由驱动器和马达之
间的短路等原因引起。
F:0x622
R:0x623
请确认轴信息，根据状态3的代码
所对应的对策进行处理。在上述对
应方法后仍无法恢复的情况下，请
联络本公司。
照相机轴联锁错
误
照相机轴有可能上升到照相
机装置和清扫装置发生干扰
的区域，所以请在发生干扰
前将动作中的照相机轴紧急
停止。
F:0x624
R:0x625
在机器调整画面中进行原点复归重
新开始运转。
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确
认
和
对
策