N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第91页
SPG EJP6AC-MB-0 3TS-01 基板传送错误时 ● 基板传送发生错误后 , 如果不取出造 成错误 的基板而继续生产 , 则无法检测留 下的基板 , 继续传入下一片基板 , 有可能使基 板破损。 ●基板传送发生错误后再开始运转时 , 将显示 取出错误基板的警告画面。请勿遗忘取 出 基板。 ●基板夹具发生错误时 , 需要进行 上述同样的 恢复步骤。 3-1-1 1 -8 确 认 和 对 策
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
基板传送错误 4
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
ON
ON
OFF
OFF
经过
未经过
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
经过
未经过
(右) [左] 传送带传送马达停止运转(右) [左] 传送带传送马达停止运转
后传送带传出基板2
3-1-11-7
确认和
对策
R-Ready (准
备)OFF?
动作参数基板排出
等待时间 (要求OFF)
是否经过?
(基板检测2：右)
[基板检测1：左]
有无传感器是OFF吗?
动作参数基板排出
等待时间 (要求OFF)
是否经过?
故障排除篇
3-1-11
这里的流程表示设备的动作。
()：左→右流向 []：右→左流向
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
基板传送错误时
●基板传送发生错误后,如果不取出造成错误
的基板而继续生产,则无法检测留下的基板,
继续传入下一片基板,有可能使基板破损。
●基板传送发生错误后再开始运转时,将显示
取出错误基板的警告画面。请勿遗忘取出
基板。
●基板夹具发生错误时,需要进行上述同样的
恢复步骤。
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确
认
和
对
策
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