N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第108页
SPG EJP6AC-MB-0 5TS-00 A C B 箭头图 A 箭头图 B 箭头图 C K404 K405 K406 K401 K403 K402 G201 R5001 F4112 F4116 F4134 F4115 F4136 F4110 R4137 R4144 简易基板吸着规格 5-1 -3 负荷 配置图 负荷配置图 2 故障排除篇 5-1 设备部
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
5-1-2
箭头图A
K604
K603
K601
K602
箭头图B
设备部
前面图
负
荷
配
置
表
G102
G101
B1035
B1110
B1146 B1142
B1033
A
B
F4012
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
A
C
B
箭头图A 箭头图B
箭头图C
K404
K405
K406
K401
K403
K402 G201
R5001
F4112
F4116
F4134
F4115
F4136
F4110
R4137
R4144
简易基板吸着规格
5-1-3
负荷
配置图
负荷配置图 2
故障排除篇
5-1
设备部
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
A
R4117
R4114
R4144
R4145
R4114
箭头图A
清洁: 吹气规格
基板吸着: 真空泵规格
清洁: 喷射规格
基板吸着: 真空泵规格
5-1-4
负
荷
配
置
表