N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第75页
SPG EJP6AC-MB-0 3TS-01 3-1-10 -6 状 态 2 驱动器参数发送 错误 [0x406] 发送伺服放大器的参数时发送 了设定范围以外的值。 需要确认伺服放大器的设定值。请 与本公司联系。 返回原点未完 成错误 [0xf03] 返回原点未完成错误。 有时通过重新开始运转可以恢复。 重新接通电源。如果仍旧发生相 同错误，请与本公司联系。 接收数据获取 (核对求和)错 误 [0xf12] 对轴发送数据时驱动器侧获取 …
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
动作命令错误
[0x301]
轴动作时因设定了未定义的
命令所以轴不能动作。
重新接通设备电源。如果仍旧发
生相同错误，请联络本公司。
伺服OFF错误
[0x305]
试图在伺服OFF的状态下进行
轴动作所以轴动作失败。
在机器调整的输入确认画面下请确
认伺服开关的输入状态。
返回原点错误
[0x30b]
返回原点动作中没有检测出
马达的原点位置返回原点动
作未正常结束。
请检查原点传感器的连线以及传感
器是否损坏。
驱动器通信错误
[0x401]
伺服放大器的通信发生错误。 请确认光缆的连线以及是否有破
损。
3-1-10-5
状
态
2
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确认和
对策
故障排除篇
3-1-10
轴错误 3
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
3-1-10-6
状
态
2
驱动器参数发送
错误
[0x406]
发送伺服放大器的参数时发送
了设定范围以外的值。
需要确认伺服放大器的设定值。请
与本公司联系。
返回原点未完
成错误
[0xf03]
返回原点未完成错误。 有时通过重新开始运转可以恢复。
重新接通电源。如果仍旧发生相
同错误，请与本公司联系。
接收数据获取
(核对求和)错
误
[0xf12]
对轴发送数据时驱动器侧获取
数据失败。
请与本公司联系。
θ轴(-)超限错
误
[0xf26]
θ轴动作中超限传感器被遮
光。
用手移动θ轴将其从超限位置上移
开。
基板输送口联
锁错误(左)
轴动作中左基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x607
R:0x609
请升起安全挡板确认安全传感器ON
后重新开始运转。
基板输送口联
锁错误(右)
轴动作中右基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x608
R:0x60A
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确
认
和
对
策
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
(+)超限错误
[0x306]
轴动作中+超限传感器被遮光。
请确认传感器的位置。
请确认传感器的连线以及传感器是
否损坏。
(-)超限错误
[0x307]
轴动作中-超限传感器被遮光。
3-1-10-7
状
态
2
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确认和
对策
故障排除篇
3-1-10
轴错误 4