N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第74页
SPG EJP6AC-MB-0 3TS-01 动作命令错误 [0x301] 轴动作时因设定了未定义的 命令所以轴不能动作。 重新接通设备电源。如果仍旧发 生相同错误，请联络本公司。 伺服OFF错误 [0x305] 试图在伺服OFF的状态下进行 轴动作所以轴动作失败。 在机器调整的输入确认画面下请确 认伺服开关的输入状态。 返回原点错误 [0x30b] 返回原点动作中没有检测出 马达的原点位置返回原点动 作未正常结束。 请检查原点传感器的…
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
L轴可动许可区
域联锁错误
升降机轴上升中升降机有可
能上升到升降机和照相机发
生干扰的区域所以在发生干
扰前动作中的所有轴紧急停
止。
F:0x620
R:0x621
在机器调整画面中执行原点复归
动作请重新开始运转。
3-1-10-4
状
态
2
清洁装置固定确
认联锁错误
升降机轴动作时清洁装置固
定装置没有被固定升降机轴
停止。
F:0x614
R:0x615
1)请确认清洁装置是否被固定。如
果没有被固定在机器调整菜单的
输出确认画面中清洁装置固定设
定为ON并且清洁装置连接设定为
OFF清洁装置被固定之后请重新
开始运转。
2)请确认清洁装置的固定部有无故
障。
伺服放大器异常
马达驱动器检查出有过电流
等现象产生。因机械方面的
原因，造成轴的动作不灵活。
驱动器或马达发生了故障。
可判断为由驱动器和马达之
间的短路等原因引起。
F:0x622
R:0x623
请确认轴信息，根据状态3的代码
所对应的对策进行处理。在上述对
应方法后仍无法恢复的情况下，请
联络本公司。
照相机轴联锁错
误
照相机轴有可能上升到照相
机装置和清扫装置发生干扰
的区域，所以请在发生干扰
前将动作中的照相机轴紧急
停止。
F:0x624
R:0x625
在机器调整画面中进行原点复归重
新开始运转。
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确
认
和
对
策
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
动作命令错误
[0x301]
轴动作时因设定了未定义的
命令所以轴不能动作。
重新接通设备电源。如果仍旧发
生相同错误，请联络本公司。
伺服OFF错误
[0x305]
试图在伺服OFF的状态下进行
轴动作所以轴动作失败。
在机器调整的输入确认画面下请确
认伺服开关的输入状态。
返回原点错误
[0x30b]
返回原点动作中没有检测出
马达的原点位置返回原点动
作未正常结束。
请检查原点传感器的连线以及传感
器是否损坏。
驱动器通信错误
[0x401]
伺服放大器的通信发生错误。 请确认光缆的连线以及是否有破
损。
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状
态
2
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确认和
对策
故障排除篇
3-1-10
轴错误 3
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
3-1-10-6
状
态
2
驱动器参数发送
错误
[0x406]
发送伺服放大器的参数时发送
了设定范围以外的值。
需要确认伺服放大器的设定值。请
与本公司联系。
返回原点未完
成错误
[0xf03]
返回原点未完成错误。 有时通过重新开始运转可以恢复。
重新接通电源。如果仍旧发生相
同错误，请与本公司联系。
接收数据获取
(核对求和)错
误
[0xf12]
对轴发送数据时驱动器侧获取
数据失败。
请与本公司联系。
θ轴(-)超限错
误
[0xf26]
θ轴动作中超限传感器被遮
光。
用手移动θ轴将其从超限位置上移
开。
基板输送口联
锁错误(左)
轴动作中左基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x607
R:0x609
请升起安全挡板确认安全传感器ON
后重新开始运转。
基板输送口联
锁错误(右)
轴动作中右基板搬送部的安
全传感器被遮光。
F:0x608
R:0x60A
错误信息
[Error Code]
错误原因
检查和对策
确
认
和
对
策