N7201A554C02_Trouble_故障排除手冊.pdf - 第35页
SPG EJP6AC-MB-0 2TS-01 支撑轴联锁错误 [1791] 伺服器 OFF 联锁错误 [1719] 主气压联锁错误 [1706] 错误信息 [Error Code] 错误原因 检查和对策 参照 轴动作中 , 主气压降低。 [ ILK-Code ] F:0x605 1) 请确认是否正确供给空 气 。 2) 请确认配管是否漏气 。 3) 请确认主气压的传感器 是否损坏或断线 。 故障排除 篇 3-1-1 轴动作中 , 伺服开…
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
基板输送口联锁错误(右)
[1790]
基板输送口联锁错误(左)
[1789]
紧急停止开关
[1300]
安全盖开联锁错误
[1788]
错误信息
故障排除篇
2-1-8
驱动器错误 1
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
轴动作中安全盖被打开。
[ ILK-Code ]
F:0x601
请将安全盖关闭后,再次
开始运转
。
操作篇
1-9-1
紧急停止开关被按下。
(紧急停止开关被按下。)
[ ILK-Code ]
F:0x602
请将紧急停止开关向外侧
拉出解除。
操作篇
1-9-2-2
轴动作中左基板搬送部的安
全传感器被遮光。
[ ILK-Code ]
F:0x603
[传感器 No]
B1014
请确认安全传感器ON后,
重新开始运转
。
故障排除
篇
5-1-1
5-2-4
轴动作中右基板搬送部的安
全传感器被遮光
[ ILK-Code ]
F:0x604
[传感器 No]
B1015
请升起安全挡板,确认安
全传感器ON后,重新开始
运转。
故障排除
篇
5-1-1
5-2-4
2-1-8-1
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
支撑轴联锁错误
[1791]
伺服器OFF联锁错误
[1719]
主气压联锁错误
[1706]
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
轴动作中,主气压降低。
[ ILK-Code ]
F:0x605
1)请确认是否正确供给空
气
。
2)请确认配管是否漏气
。
3)请确认主气压的传感器
是否损坏或断线
。
故障排除
篇
3-1-1
轴动作中,伺服开关被置OFF。
[ ILK-Code ]
F:0x606
请将伺服开关置ON后,重
新开始运转
。
操作篇
1-9-2-2
支撑轴动作中,检测基板等异
物夹入情况的传感器被遮光。
[ ILK-Code ]
F:0x607
[传感器 No]
B1124
B1C40
1)如果基板落到传送带上
时,请取出基板。
2)请确认支撑装置(支撑
块、支撑销等)的安装
位置。
3)在传送带上落有工具等
时,请清除。
4)请确认传感器的连线以
及传感器是否损坏。
操作篇
6-1-3
故障排除
篇
5-1-2
5-2-4-1
2-1-8-2
错
误
对
策
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
基板止动器上升检测联
锁错误
[1776]
清洁装置固定确认联锁
错误
[1773]
清洁装置吸引部下限联
锁错误
[1772]
错误信息
故障排除篇
2-1-8
驱动器错误 2
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
因为清洁装置吸引部在溶剂
吸嘴附近有上升的可能,照相
机Y轴停止。
[ ILK-Code ]
F:0x60C
1)请在机器调整菜单的输
出确认画面中的,清洁
装置吸引部上升中,确
认吸引吸嘴的动作
。
2)请确认清洁装置吸引部
的上下驱动部是否损坏
。
操作篇
5-1-7
故障排除
篇
5-1-7
升降机轴动作时,清洁装置固
定装置没有被固定,升降机轴
停止。
[ ILK-Code ]
F:0x610
1)请确认清洁装置的固定
状态。当没有固定好时，
请在[机器调整菜单]的
[输出确认]下，将[清洁
装置固定]置于ON，并
将[清洁连接]置于OFF。
请固定好清洁装置后再
重新启动。
2)请在[机器调整]菜单的
[输入确认]下，确认输
入环I/O的0044：Bit0
的“清洁装置固定解除
确认”为OFF。
操作篇
5-1-7
故障排除
篇
5-1-4
轴动作中,因基板止动器上升
检测传感器没有在ON的状态。
基板止动器一直保持在下降
的状态。
[ ILK-Code ]
F:0x609
[传感器 No]
B1F03
气压正确供给的情况下,
请确认止动器的上升检测
传感器是否破损或断线。
故障排除
篇
3-1-1
5-1-6
5-2-5
2-1-8-3