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安装要领书 29 使用 螺丝刀卸下本 机后部的 护罩 ，在 设置水平器 用的空间之 X 方向和 Y 方向各放 1 个水平 器 。（ 是 RX -7 R 时） (a) 水平器 2. 为了对准本机前 工序和后工序的 基板搬送高度 ，要用扳手旋转 底部脚（ RX -7: 6 个， RX -7 R: 4 个） 的六角螺母来调 整基板搬送高度 。 向右旋转为上升 ，向左旋转为 下降 。 注意 脚高度调 整用六角 螺母的 2 面宽度为 64mm 。…

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安装要领书
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5.
基板传送高度和水平调整
5-1.
水平调整
1.
使用六角扳手卸下本机后部的护罩，在设置水平器用的空间之
X
方向和
Y
方向各放
1
个水平器。
（是
RX-7
时）
基板传送高度度
900 -20/+45mm
950 -20/+45mm (950mm 规格)
基板传送面：本机正面侧的输送带上面
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使用螺丝刀卸下本机后部的护罩，在 设置水平器用的空间之
X
方向和
Y
方向各放
1
个水平器。（ 是
RX-7R
时）
(a)
水平器
2.
为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部脚（
RX-7: 6
个，
RX-7R: 4
个）
的六角螺母来调整基板搬送高度。
向右旋转为上升，向左旋转为下降。
注意
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
64mm
。
(a)
锁定用螺母
(b)
脚的六角螺母
(c)
脚
a
上升
下降
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3.
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保
X
轴和
Y
轴的水平器显示的水平度在
0.05mm
以
下（
1
刻度为
0.02mm
的水平器为
2
刻度以下，
1
刻度为
0.05mm
的水平器为
1
刻度以下）。
4.
安装本机的护罩。
是
RX-7R
时，请按下图的顺序安装护罩。
①
②