Ersa HF3_20 操作说明.pdf - 第4页
目录 3.5.1 一般的输送系统 ............................................................. 37 3.5.1.1 中央支撑 .......................................................... 37 3.5.1.2 宽度调节 ................................................…
目录
目录
1 简介 ................................................................................... 11
1.1 产品信息 ........................................................................... 12
1.1.1 产品概述 ................................................................... 12
1.1.2 预定用途 ................................................................... 12
1.1.3 改装、修改 ................................................................. 12
1.2 手册信息 ........................................................................... 13
1.2.1 关于操作手册的一般信息 ..................................................... 13
1.2.2 图标和符号的解释 ........................................................... 14
1.2.2.1 本手册中的主要术词的定义 .......................................... 15
1.2.2.2 警告 .............................................................. 16
1.2.2.3 规则通知 .......................................................... 18
1.2.2.4 禁止通知 .......................................................... 19
1.2.3 目标阅读人群 ............................................................... 20
1.2.4 版权所有，责任 ............................................................. 20
2 技术数据 ................................................................................ 21
2.1 整个系统的技术数据 ................................................................. 22
2.1.1 一般技术数据* .............................................................. 22
2.1.2 气动系统（可选择： EPC） ................................................... 22
2.1.3 惰性气体技术（氮气） ....................................................... 22
2.1.4 吸力 ....................................................................... 22
2.1.5 环境条件 ................................................................... 22
2.1.6 安全设备 ................................................................... 23
2.1.7 连接数据* .................................................................. 23
2.2 个体单元的技术数据 ................................................................. 23
2.2.1 加热系统 .................................................................. 23
2.2.2 冷却系统 .................................................................. 23
2.2.3 外部冷却水连接 ............................................................. 24
2.2.4 处理区域 ................................................................... 24
2.2.5 单带输送系统 .............................................................. 24
2.3 可选项 ............................................................................. 25
3 安全考量 ................................................................................ 27
3.1 一般安全说明 ....................................................................... 28
3.1.1 国家有效的安全和事故防预规范 ............................................... 28
3.1.2 安全系统操作 ............................................................... 28
3.1.3 防火 ....................................................................... 28
3.2 机器的安全和保护设备 ............................................................... 28
3.2.1 安全和保护设备 ............................................................ 28
3.2.2 安全设备 ................................................................... 29
3.2.3 主开关 ..................................................................... 29
3.2.4 紧急停止按钮 ............................................................... 30
3.2.5 信号灯 ..................................................................... 31
3.2.6 操作终端 .................................................................. 31
3.2.7 控制钥匙 ................................................................... 32
3.2.8 排气监控 .................................................................. 32
3.3 相关主体安全说明 ................................................................... 33
3.3.1 处理电设备 ................................................................ 33
3.3.2 处理气设备 ................................................................. 33
3.3.3 处理材料和物质加工 ......................................................... 33
3.4 针对特定操作阶段的安全说明 ......................................................... 35
3.4.1 正常操作 ................................................................... 35
3.4.2 有关维修、保养、专项工作和故障排除方面的安全说明 ........................... 36
3.5 针对特定机器和系统部件的安全说明 ................................................... 37
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操作说明_HF3_20_zh|Rev. 7|2017/10/25 iii/600
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3.5.1 一般的输送系统 ............................................................. 37
3.5.1.1 中央支撑 .......................................................... 37
3.5.1.2 宽度调节 .......................................................... 38
3.5.2 常规预热器 ................................................................. 38
3.5.3 激光设备 ................................................................... 38
3.5.4 处理室 ..................................................................... 38
3.5.5 冷凝管理系统 ............................................................... 39
3.6 更新和改装 ......................................................................... 39
3.7 环境保护 ........................................................................... 40
3.8 运输机器 ........................................................................... 40
4 运输，安装，储存，清理 .................................................................. 41
4.1 请先阅读本资料！ ................................................................... 42
4.1.1 目标阅读人群 ............................................................... 42
4.1.2 补充资料 ................................................................... 42
4.2 运输机器 ........................................................................... 42
4.3 卸载机器 ........................................................................... 43
4.3.1 用叉车来卸载机器 ........................................................... 43
4.3.2 用吊车对机器进行卸载 ....................................................... 46
4.4 拆去机器的包装 ..................................................................... 46
4.4.1 使用带 Shock Watch 防震荡指示器的包装 ...................................... 48
4.4.2 使用带 Tilt Watch倾斜指示器的包装 .......................................... 49
4.4.3 包装在箱子里的机器 ......................................................... 50
4.4.4 用托板包装的机器 ........................................................... 51
4.5 拆除运输固定装置 ................................................................... 51
4.6 运输未拆除包装的机器 ............................................................... 53
4.6.1 用叉车来运输机器 ........................................................... 53
4.7 拧上可调节支脚。 ................................................................... 54
4.8 对机器进行装置。 ................................................................... 55
4.8.1 清理机器周围的空间 ......................................................... 55
4.8.2 占用空间的条件 ............................................................. 56
4.8.3 校直机器 ................................................................... 57
4.9 准备操作时需要的冷却单元 ........................................................... 59
4.10 填充第二个水路（可选） ............................................................. 61
4.11 组装各个元件 ....................................................................... 61
4.11.1 安装信号灯 ................................................................. 62
4.11.2 组装代码读取器 ............................................................. 62
4.11.3 安装监视器 ................................................................. 62
4.12 连接机器 ........................................................................... 62
4.12.1 电路连接的准备 ............................................................. 63
4.12.2 连接电源 ................................................................... 64
4.12.3 连接监视器 ................................................................. 64
4.12.4 内联接口 ................................................................... 65
4.12.5 连接各个吸管 ............................................................... 65
4.12.6 连接到一个惰性气体供给单元上。 ............................................. 66
4.12.7 连接到压缩空气供给系统（可选： EPC） ....................................... 67
4.12.8 连接至排气监控系统 ......................................................... 68
4.13 储存 ............................................................................... 68
4.14 垃圾清理 ........................................................................... 69
5 调试 .................................................................................... 71
5.1 请先阅读本资料！ ................................................................... 72
5.1.1 目标阅读人群 ............................................................... 72
5.1.2 安全考量 ................................................................... 72
5.1.3 补充资料 ................................................................... 72
5.2 打开和关闭机器盖 ................................................................... 73
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操作说明_HF3_20_zh|Rev. 7|2017/10/25 iv/600
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5.3 机器操作模式 ....................................................................... 75
5.4 第一次调试 ......................................................................... 77
5.4.1 连接机器 ................................................................... 77
5.4.2 调整气动和氮气压力 ......................................................... 77
5.4.3 用户登录 ................................................................... 77
5.4.4 设定语言 ................................................................... 78
5.4.5 检查紧急停止功能 .......................................................... 78
5.4.6 设置时间和日期 ............................................................. 79
5.4.7 检查安全设备。 ............................................................. 79
5.4.8 信号灯功能测试。 ........................................................... 80
5.4.9 检查各个单元 ............................................................... 81
5.4.9.1 检查输送系统 ...................................................... 81
5.4.9.2 检查宽度调整 ...................................................... 81
5.4.9.3 用于定位宽度调整的范例 ............................................ 83
5.4.9.4 检查中心支架 ...................................................... 87
5.4.9.5 定位中心支架的使用范例。 .......................................... 89
5.4.9.6 检查加热和对流系统。 .............................................. 92
5.4.9.7 检查氮气供给量和剩余氧气量 ........................................ 93
5.4.9.8 检查冷却系统 ...................................................... 94
5.5 机器已经准备好运行 ................................................................. 95
5.6 反复调试 ........................................................................... 96
5.6.1 通过周定时器启动机器 ....................................................... 96
5.7 机器的关断 ......................................................................... 97
5.7.1 通过周时钟关断机器 ......................................................... 97
5.7.2 离开[自动]操作模式 ......................................................... 98
5.7.3 机器长时间关机所需要的手动操作 ............................................. 99
5.7.4 如果电源出现故障会自动关机（带UPS） ....................................... 100
5.7.4.1 如果机器内没有任何电路板 ......................................... 100
5.7.4.2 如果在机器内还有电路板 ........................................... 100
5.7.5 恢复供电后机器会自动开机（带UPS） ......................................... 100
5.7.6 机器长时间关机所需要的手动操作 ............................................ 101
6 功能描述 ............................................................................... 103
6.1 请先阅读本资料！ .................................................................. 106
6.1.1 目标阅读人群 .............................................................. 106
6.1.2 补充资料 .................................................................. 106
6.2 机器操作 .......................................................................... 107
6.2.1 检查紧急停止功能 ......................................................... 107
6.2.2 信号灯 .................................................................... 108
6.3 本手册中的主要术词的定义 .......................................................... 109
6.3.1 页面 ...................................................................... 109
6.3.2 显示框 .................................................................... 109
6.3.3 单选按钮 .................................................................. 109
6.3.4 复选框 .................................................................... 109
6.3.5 下拉菜单 .................................................................. 109
6.3.6 输入框和显示区框 .......................................................... 109
6.3.7 功能和对话描述 ............................................................ 110
6.3.8 按钮 ...................................................................... 110
6.3.9 操作说明 .................................................................. 110
6.4 查看控制程序 ...................................................................... 111
6.4.1 顶部工具栏 ................................................................ 112
6.4.2 底部工具栏 ................................................................ 114
6.4.3 状态栏 .................................................................... 117
6.5 [一般设置] 编辑页面 ............................................................... 118
6.5.1 [特征] 页面 ............................................................... 119
6.5.2 [用户管理] 页面 ........................................................... 120
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