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2 操作安全 使用说明书 SIPLACE CA4 V2 2.6 安全功能 使用软件版本 711.0 或更新 2019 年 2 月版 72 2.6.3.2 启用急停 如果发生问题，可按下 EM ERGENCY STOP （急停）按钮停止 SIPLACE CA4 V2 。 急停的激活方式有： – 按下 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上的 EMERGENCY STOP （急停）按钮。 – 按下 SIPLACE CA4 V2 上的 EM…
使用说明书 SIPLACE CA4 V2 2 操作安全
使用软件版本 711.0 或更新 2019 年 2 月版 2.6 安全功能
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2
图 2.6 - 6 安全开关概览
是否已按下 Start （启动）按钮？
否
是
否
是
否
2
活动
安全开关 否
电压
Y 轴 0 V
X 轴 0 V
星形轴 0 V
DP 轴 42 V-
Z 轴 （C&P、TH）42 V-
Z 轴 (CPP) 0 V-
活动
PCB 传送导轨 否
升降料台 否
PCB 夹具 否
宽度调整 否
料带切割器 否
元件料车的进料装置 是
EMERGENCY STOP （急停）
按钮 被按下？
- 保护盖和 / 或侧推拉门是否
打开？
元件料车上的定位开关是否
切断？
2
活动
安全开关 是
电压
Y 轴 300 V-
X 轴 300 V-
星形轴 160 V-
DP 轴 42 V-
Z 轴 （C&P、TH）42 V-
Z 轴 (CPP) 160 V-
活动
PCB 传送导轨 是
升降料台 是
PCB 夹具 是
宽度调整 是
料带切割器。 是
料车供料器件 是
是
是
压缩
空气 最小 0.5 MPa
（5.0 bar）？
是
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2.6.3.2 启用急停
如果发生问题，可按下 EMERGENCY STOP （急停）按钮停止 SIPLACE CA4 V2。
急停的激活方式有：
– 按下 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上的 EMERGENCY STOP （急停）按钮。
– 按下 SIPLACE CA4 V2 上的 EMERGENCY STOP （急停）按钮
这些情况下，将触发 SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统的安全开关，并将于 100 毫秒或
500 毫秒内切断电源接触器 （“ 停止 ” 类别 1，受控停机且在静止状态下中断能源供应）。
2.6.3.3 重设一个急停
要重设一个急停，您需要解锁 SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 的 EMERGENCY
STOP （急停）按钮。
找出触发 EMERGENCY STOP （急停）按钮的原因。
清除原因。
解锁 SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 的相关 EMERGENCY STOP （急停）
按钮。
2.6.3.4 重置锁定
关闭 SIPLACE CA4 V2 上所有打开的保护盖 / 推拉门。
2.6.3.5 触发锁定
打开 SIPLACE CA4 V2 上的保护盖 / 推拉门。
2.6.3.6 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 的安全开关
SWS 安全开关被 SIPLACE CA4 V2 锁定，因此 SWS 仅在 SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (CSB)
已启用时激活。
按下 EMERGENCY STOP （急停）按钮后，SWS 上的 EMERGENCY STOP （急停）会影响
SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (CSB)，方式是触发 SIPLACE CA4 V2 的急停功能，同时通过其自
己的安全开关触发 SWS 的急停功能。
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2.6.4 装有虚拟供料器的位置上的护手装置
2
图 2.6 - 7 料车位置上的护手装置
2
(1) SIPLACE X 虚拟供料器，部件号：00141226-xx
警告
操作
通过占用每第二个位置保证操作安全！
为确保 SIPLACE CA4 V2 元件料车的操作安全，至少每第二个空闲位置上都必须安放一
个供料器模块或护手装置 （虚拟供料器）。
在料车上的合适位置安装护手装置
即便在为华夫盘配置一个夹持器时，也应当用一个护手装置固定每第二个位置。