RL132维修手册.pdf - 第116页
RL132 维修手册 5.2 搬送导轨 DA9MCC-Y3-000-A0 5.2-1 5.2. 搬送导轨 DA9MCC-Y3-000-A0 5.2.1 搬送导轨 装置编号： N610128952AA / N61012 8953AA 编号 名称 型号 1. 基板存在检测 P919T 2. 基板存在检测 P919T 3. 轨道上下气缸返回检测 D-C73 4. 轨道上下气缸前进检测 D-C73 5. 基板位置异常检测 P919T 1. 2.…
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5.1 插件头
DA9MCC-Y1-M00-A0
5.1-2
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5.2 搬送导轨
DA9MCC-Y3-000-A0
5.2-1
5.2. 搬送导轨
DA9MCC-Y3-000-A0
5.2.1 搬送导轨
装置编号：
N610128952AA / N610128953AA
编号 名称 型号
1.
基板存在检测
P919T
2.
基板存在检测
P919T
3.
轨道上下气缸返回检测
D-C73
4.
轨道上下气缸前进检测
D-C73
5.
基板位置异常检测
P919T
1.
2.
3.
4.
5.
1.
2.
3.
4.
RL132
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5.2 搬送导轨
DA9MCC-Y3-000-A0
5.2-2