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RL132 维修手册 7.3 基板搬送部 DA9MCC-Z4-000-A0 7.3-3 7.3.3 轨道自动宽度调整装置部(选购件) Unit No. N610130241AA 加油 周期 No. 项目 作业 加油量 详细内容 3 个月 1. LM 导轨 0.25 cm 3 1. LM 导轨
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-2
7.3.2 定位器
装置编号
N610061375AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
每周
a.
基准销
无磨损、损伤。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
轴旋转部 1 至 2 滴
3 个月
2.
轴滑动部
適量 用含有机油的抹布擦拭
2. 轴滑动部
1. 轴旋转部
a. 基准销
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-3
7.3.3 轨道自动宽度调整装置部(选购件)
Unit No. N610130241AA
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
3 个月
1.
LM 导轨
0.25 cm
3
1. LM 导轨
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-4
7.3.4 销自动宽度调整装置部(选购件)
Unit No. N610054629AA
Oiling
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
滚珠丝杠
1 cm
3
位置: 螺纹
3 个月
2.
LM 导轨
0.5 cm
3
位置: 轨道表面
1. 滚珠丝杠
2. LM 导轨