XP143机械手册.pdf - 第41页
MEC-XP143-1.0S 4. 维修保养 XP-143E 机械手册 31 4.1.5 量规芯片元件的清扫 ( 每周 ) 要点 用于吸嘴旋转中心测定、加载反 馈补正等的量规芯片元件到规定的位 置。由于进行定期的 清扫，就可保证稳定的测定和补 正。 方法 使用柔软的毛刷 ( 照相机镜头清扫用 ) 等，对两面进行清扫。 警告 操作前请务必切断主电源 。
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4.1.4 吸嘴内部的清扫 ( 每周 )
要点
吸嘴用真空来吸取元件。因此，当大气中的灰尘和粘结剂等微小颗粒会比较容易地吸附在
吸嘴内部，造成吸嘴堵塞的原因。
当吸嘴堵塞时，会引起吸取元件的吸取率下降，所以当发现异常时或者定期地进行吸嘴内
部的清扫。
方法
请使用适当尺寸的捅针，排除吸嘴内的异物。
请用蘸过酒精的布擦拭吸嘴的前端进行清扫。
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XP-143E 机械手册 31
4.1.5 量规芯片元件的清扫 ( 每周 )
要点
用于吸嘴旋转中心测定、加载反馈补正等的量规芯片元件到规定的位置。由于进行定期的
清扫，就可保证稳定的测定和补正。
方法
使用柔软的毛刷 ( 照相机镜头清扫用 ) 等，对两面进行清扫。
警告
操作前请务必切断主电源。
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4.1.6 真空泵用过滤器的清扫 ( 每 3000 小时 )
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧 (Side2) 的 MFU。
2. 切断机器的电源。
3. 将真空配管内减压，并确认负压计的指针指在零的位置。
4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖板。
警告
操作前请务必切断主电源。