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MEC-XP143-1.0S 4. 维修保养 XP-143E 机械手册 33 5. 拧松套环，取下套环和过滤器罩， 拆下过滤器部件。 6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器 部件上的灰尘，或更换新的过滤器 部件。
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32 XP-143E 机械手册
4.1.6 真空泵用过滤器的清扫 ( 每 3000 小时 )
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧 (Side2) 的 MFU。
2. 切断机器的电源。
3. 将真空配管内减压，并确认负压计的指针指在零的位置。
4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖板。
警告
操作前请务必切断主电源。
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XP-143E 机械手册 33
5. 拧松套环，取下套环和过滤器罩，拆下过滤器部件。
6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器部件上的灰尘，或更换新的过滤器部件。
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4.1.7 机器内部的清扫 ( 每周 )
要点
随着机器的运转，有时在机器内部会散落有包括元件在内的异物。
请进行定期地清扫，以保持机器的清洁。
方法
1. 请使用刷子，把散乱在机器内的异物进行清除。
注意 ) 在机器内不能用压缩空气进行喷、吹等操作。细小的元件、异物会进入机器内部，有可导致
机器运转的故障。
2. 请将粘附在加油处以外的润滑油，用干布等擦拭干净。
警告
操作前请务必切断主电源。