3OM-1009-002.pdf - 第163页
Tg0854-PM-ER 62 09 05 R コンベア 基板検出 R コンベア上で基板が停滞しました。 ( 要因 1 ) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。 ( 要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。 ( 要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。 ( 要因 4) 基板が搬送されている途中で、 人が基板を抜き取りました。 ( 要因 1、 2 、 3 、 4 の復帰方法 ) 復帰手順 ( 1 )[ 警…
Tg0854-PM-ER
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 08 04 P コンベア 基板検出 基板受け取り完了前にLコンベアからの基板搬送が中断
されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) P コンベア上で基板が停滞していないか、L コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 02 R コンベア 基板検出 後工程への基板排出が完了する前に後工程ワーク要求信
号が切れました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、後工程装置に異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 01 R コンベア 基板検出 基板検出 R (左) を検出前に前工程ワーク要求信号が切
れました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、前工程装置に異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 08 05 P コンベア 基板検出 基板受け取り完了前にRコンベアからの基板搬送が中断
されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) P コンベア上で基板が停滞していないか、R コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-119
Tg0854-PM-ER
62 09 05 R コンベア 基板検出 Rコンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-120
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 09 04 R コンベア 基板検出 R コンベア上に基板が 2 枚存在します。
62 09 03 R コンベア 基板検出 Rコンベア (入口) で基板が停滞しています。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっています。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア入口の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER0304-001 2-121
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 09 09 R コンベア 基板検出 基板排出完了前にPコンベアへの基板搬送が中断されま
した。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、P コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 08 R コンベア 基板検出 基板検出 R (左) を検出前にERコンベアからの基板搬
送が中断されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、ER コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 06 R コンベア 基板検出 Rコンベア上に不適切な基板が存在します。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 07 R コンベア 基板検出
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上からの基板落下がないか確認してください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Rコンベア上から適切な基板が取り除かれました。