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7. 基板認識異常コードとメッセージ一覧 0304-001 4-89 Tg0854-PM-ER 7. 7. 7. 7. 7. 基板認識異常コードとメッセージ一覧 基板認識異常コードとメッセージ一覧 基板認識異常コードとメッセージ一覧 基板認識異常コードとメッセージ一覧 基板認識異常コードとメッセージ一覧 基板認識処理で発生する異常コードの内容を示します。
0304-001 4-88 Tg0854-PM-ER
6. ノズル認識異常コードとメッセージ一覧
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
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部表示
BB
BB
B
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30000041 ノズル認識異常 ノズルの検出ができない。
(要因 1) 治具ノズルの取付けに異常がありませんか。
また、治具ノズル調整に異常がありませんか。
(要因 2) ノズルタイプデータが設定範囲を超えていませんか。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1) 治具ノズルを正しく取付けてください。
(2) 治具ノズルを使用し正しく調整してください。
(3) ノズルタイプデータを正しく設定してください。
30000051 ノズル認識異常 ノズルのX サイズが許容範囲を超えている。
30000052 ノズル認識異常 ノズルのYサイズが許容範囲を超えている。
30000061 ノズル認識異常 ノズルの位置 (X) が許容範囲を超えている。
上記以外の ノズル認識異常
30XXXXXX
その他
30000062 ノズル認識異常 ノズルの位置 (Y) が許容範囲を超えている。
30000071 ノズル認識異常 ノズルの検出ができない。
30000053 ノズル認識異常 ノズルの X サイズが大きい。
30000054 ノズル認識異常 ノズルの Y サイズが大きい。
30000055 ノズル認識異常 ノズルの X サイズが小さい。
30000056 ノズル認識異常 ノズルの Y サイズが小さい。
30010000 ノズル認識異常 ノズルが装着されていない。
Table 3D6Table 3D6
Table 3D6Table 3D6
Table 3D6
7. 基板認識異常コードとメッセージ一覧
0304-001 4-89 Tg0854-PM-ER
7. 7.
7. 7.
7.
基板認識異常コードとメッセージ一覧基板認識異常コードとメッセージ一覧
基板認識異常コードとメッセージ一覧基板認識異常コードとメッセージ一覧
基板認識異常コードとメッセージ一覧
基板認識処理で発生する異常コードの内容を示します。
0304-001 4-90 Tg0854-PM-ER
7. 基板認識異常コードとメッセージ一覧
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
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部表示
BB
BB
B
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部表示
31100001 基板認識異常 認識範囲内に該当するマークが見つからなかった。
マーク近傍の画像状態が不安定。
31100005 基板認識異常 マークX 方向の測定位置誤差が大きい。
31100006 基板認識異常 マークY 方向の測定位置誤差が大きい。
31100007 基板認識異常 マークと背景との間に十分なコントラスト差がない。
31109999 基板認識異常 動作不良により処理が中断した。
31110001 基板認識異常
31100003 基板認識異常 マーク形状の誤差が大きい。
31100004 基板認識異常 マーク形状またはマークサイズの誤差が大きい。
認識範囲内に該当するマークが見つからなかった。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
上記以外の 基板認識異常
31XXXXXX
その他
31100002 基板認識異常
Table 3D7Table 3D7
Table 3D7Table 3D7
Table 3D7