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Tg0854-PM-ER 5. 基板認識異常の復帰方法 0304-001 1-25 操作手順操作手順操作手順操作手順操作手順 ( 1 ) 実際の認識マークがクロスラインセンタに位置するように、 XY ビームを移動するため方向指定 [ ] [ ] [ ] [ ] キーを選択し、速度指定 [ 高速 ] [ 低速 ] [ 1 パルス ] キーを選んで [ 作動 ] ボタンを押します。 [ 高速 ] [ 低速 ] を選択した場合は、ボ…

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5. 基板認識異常の復帰方法

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5. 5.

基板認識異常の復帰方法基板認識異常の復帰方法

基板認識異常の復帰方法

生産運転中に基板認識異常が発生した場合に、 [復帰] ボタンを押すと、“目

合わせ操作” 画面 (Fig.3A31 または Fig.3A32) が表示されます。表示され

る操作画面および操作方法は“生産運転”→“サブメニュー”の“運転方法設

定”､“基板認識目合わせモード設定” で指定した内容により変わってきます。

基板認識目合わせモード基板認識目合わせモード

基板認識目合わせモード :

標準標準

標準

Fig.3A31Fig.3A31

Fig.3A31

認識モニタに、クロスラインとクロスセンタ部に認識マークと同形状、同寸法

のテンプレートが表示されます。 (Fig.3A32参照)

Fig.3A32Fig.3A32

Fig.3A32

実際の認識マークが認識モニタ上に表示されたクロスラインセンタ部のテンプ

レート表示に合うように XY ビームを移動させる操作を行います。

(目合わせ操作)

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5. 基板認識異常の復帰方法

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操作手順操作手順

操作手順

(1) 実際の認識マークがクロスラインセンタに位置するように、XYビームを

移動するため方向指定 [ ] [ ] [ ] [ ] キーを選択し、速度指定

[高速] [低速] [1 パルス] キーを選んで [作動] ボタンを押します。

[高速] [低速] を選択した場合は、ボタンを押している間だけ XY ビー

ムが移動します。

[1 パルス] を選択している場合は、一度ボタンを押すと 1 パルス分 XY

ビームが移動します。

(2) 方向指定,速度指定を変更しながら、以下の図のように実際の認識マーク

がクロスラインセンタのテンプレート表示に合うようにXYビームを移動

させてください。

注注

注 : 装着精度に影響しますので、速度指定の [1パルス] キーにて正確

に目合わせ操作を行う必要があります。

Fig.3A33Fig.3A33

Fig.3A33

(3) 目合わせ操作が完了したら、 [目合わせ終了] キーを押してください。“生

産運転”画面に戻ります。

(4) [始動] ボタンを押すと、自動運転が再開します。

注注

注 : 目合わせ操作完了時に押す [目合わせ終了] キーは1回しか受付けませ

ん。

•

目合わせ操作を誤って終了してしまった場合目合わせ操作を誤って終了してしまった場合

目合わせ操作を誤って終了してしまった場合

装着位置不良を起こします (補正ズレが発生) ので次の処置を行ってくだ

さい。

操作手順操作手順

操作手順

(1)[システムクリア] ボタンを押し、自動運転を中断します。

(2) 全原点復帰操作を行います。

(3) “生産運転”→“サブメニュー”画面の“生産運転ステップ指定” で、

運転を始動してください。

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5. 基板認識異常の復帰方法

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基板認識目合わせモード基板認識目合わせモード

基板認識目合わせモード :

トラックボールトラックボール

トラックボール

Fig.3A34Fig.3A34

Fig.3A34

認識モニタのクロスラインとクロスセンタ部に、認識マークと同形、同寸法の

テンプレートが表示されます。 (Fig3A35)

Fig.3A35Fig.3A35

Fig.3A35

モニタ上に表示されたクロスラインセンタ部のテンプレート表示が、実際の認

識マークに合うように、トラックボールにてクロスラインセンタを移動させる

操作を行います。 (目合わせ操作)