RX-8_维修手册.pdf - 第100页

第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 58 触摸[校准完毕]。 测定 XY 轴之最大值和 最小 值的 1 mm 前方的量(软件 极限值)及当时的行程 量。 列表显示测定结果,[ 完毕]按钮 生效 。 触摸[完毕]。 显示左侧装置 XY 校准的[个别显示 ]画面。请依照 画面 的指示,与右 侧装置相同地实施 校准 。 全部工序完成后,显示 为[已完成 XY 校准。]。 触摸[调整 OK ]。

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2
操作顺序书
2-3.
校准
57
XY
轴的软件极限
触摸[开始校准]。
进行左右一次性更换台下降、前面护罩解除锁定。
注意
进行这一操作期间,不能向其他画面移动。
打开前面护罩,用手移动 XY 轴的 X 轴,使与装置内左端的机械限动器接触,接着将
X 轴向右移动,与右端的机械限动器接触。
用手移动 XY 轴的 Y 轴,使与装置内前端的机械限动器接触,接着将 Y 轴向后移动,
与后端的机械限动器接触。
2
操作顺序书
2-3.
校准
58
触摸[校准完毕]。
测定
XY
轴之最大值和最小值的
1 mm
前方的量(软件极限值)及当时的行程量。
列表显示测定结果,[完毕]按钮生效
触摸[完毕]。
显示左侧装置
XY
校准的[个别显示]画面。请依照画面的指示,与右侧装置相同地实施校准
全部工序完成后,显示为[已完成
XY
校准。]。
触摸[调整 OK]。
2
操作顺序书
2-3.
校准
59
2-3-2.
高度校准
HMS
转写
Stage1
的处完成后,显示如下画面。首先把基板翘曲检测传感器转调整治具板安装到右侧装置上
触摸[开始安装]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,
XY
轴退避,根据治具板的尺寸对前侧通道
的传送宽度自动进行宽度调整。然后,进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
通道宽度需要进行微调时,请触摸
/
进行调整。