RX-8_维修手册.pdf - 第105页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 63 触摸［校准执行］。 进行左右一次性更换台 车上升、前面护罩的 锁定后，以传感器测 定基板面高度， 显示 基准高度 的测定结果。 校准正常完成后，显示 ［校准处理正常完成 。］的信息。 确认测定结果没有问题。 触摸［完毕］。 高度开关 触摸［校准执行］。 进行左右一次性更换台 车上升、前面护罩 锁定 ，传感器 对吸嘴高度检测开关的 高度进行测 定。 会显示基板面高度与吸 嘴高度检测开关的高 …
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
62
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。
把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为
“
手按位置
”
。
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置滑动移动到“手按位置”
( )
。
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
63
触摸［校准执行］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，以传感器测定基板面高度，显示基准高度
的测定结果。
校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
确认测定结果没有问题。
触摸［完毕］。
高度开关
触摸［校准执行］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩锁定，传感器对吸嘴高度检测开关的高度进行测定。
会显示基板面高度与吸嘴高度检测开关的高度差，确认在±
0.05
以内。如不符合规格入，请松
开螺丝调整差分，再次进行校准。
触摸［完毕］。
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
64
治具芯片放置台
基板面的高度测定完成后，显示如下画面。从转写校准的治具放置台上拆下治具芯片。
触摸［开始拆卸］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，从右侧装置转写校准工具放置台上拆下治具芯片。
关闭前面护罩，触摸［拆卸完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
显示转写校准工具放置台的高度测定画面。
触摸［校准执行］。
用传感器测定治具放置台的高度。校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
装置前面