DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5).pdf - 第405页
14-47 Machine Calibration 6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。 要 适 用其 校正值请点击 < 更新 > 按钮。 7. 显示 ” 下一步从头部移动吸嘴 1 。 点击 [ 下一 步 ] 向下移动头部。 移 动后， 手动移 出吸嘴。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架上手动除去 Calibration T ool 请点 击 < 下个 > 按钮。 为了手动清除插入到 Head…
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下面是 Fiducial Camera Offset的校正步骤。
1. 点击<8. Camera Offset> 按钮则在消息窗显示 “ 首先，我们必须把所有吸嘴手动
离开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]” 为了手动除去贴装在磁头的所有吸
嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个> 按钮。
2. 那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
3. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头2号的吸嘴支架上手动贴装Calibration Tool后
请点击<下个>按钮。
4. 消息窗显示 “移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
为了把基准相机移动到ANC顶面的校正 Tool位置，请点击<下个>。此时调整校
正Tool位置，使校正Tool中心的Fiducial Mark位于’SMVision’窗口的十字线中
心。
备 注 参考下列图请把校正 Tool正确放置到ANC的校正 Tool处。
5. 消息窗显示 “准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时, 点击<亮度> 按
钮后在 “亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的 Calibration Tool上的
Fiducial Mark明显，调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
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Machine Calibration
6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。要适用其校正值请点击<更新>
按钮。
7. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后，手动移
出吸嘴。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴，请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Head Offset对话框中确认。
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备 注 Fiducial Camera Offset (FOV 7.5)的校正基准值如下。
Gantry1
Offset X : -189.5 ~ -187.5 (mm)
Offset Y : -1 ~ 1 (mm)
Gantry2
Offset X : 187.5 ~ 189.5 (mm)mm
Offset Y : -1 ~ 1 (mm)
14.3.10.2. Head Z / R Offset Calibration
PCB顶面到Z轴Home的距离是机械设置的。Z Offset 校正为以PCB顶面基准，利用
空压测量对此距离的Offset。
R Offset 校正为以吸嘴支撑架0度基准进行整列，测量对角度的Offset。
以下是执行Z Offset 校正的过程，使用的吸嘴为校正用CN040吸嘴。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，手动清除插入在所有Head吸嘴支撑架的吸嘴后把
CN040吸嘴插入到ANC的2号孔中。Gantry1时前面ANC的2号孔、 Gantry2时
后面ANC的2号孔中插入CN040吸嘴。