DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5).pdf - 第423页
14-65 Machine Calibration 5. 显示 “ 排列高度上升， 镜像关闭 。 移动， 点 击 [ 下一 步 ]” 消息。 请点击 < 下个 > 按 钮。 6. 显示 “ 排列高度上升， 镜像关闭。 移动， 点击 [ 下一步 ]” 消息。 请点击 < 下个 > 按 钮。 那么， 磁头 1 上升到 飞行相机的 Align 高度， 关 闭 Mirror 。 然后在消息窗显示 ” 准 备标准。 对于标…
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
14.3.10.6. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。 为校正飞行相机中心和Head Spindle
中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head Z Offset Calibration 应该使用
特制的器具(Calibration Tool)。
使用Head的Reference Fiducial Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在System Setup菜单的Camera对话框中进
行设置。Default值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1号孔中插入CN400吸嘴。选择<自动下一步>
校验框后，
2. 点击<11. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的Gantry自动执行校正。选择<没
有实际运动（手动）>
校验框后，执行校正会在各Head手动
插入吸嘴，并点击<
下个>进入下一个阶段。不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任
何校验框的状态下执行校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点
击<下个>按钮才能执行下一个阶段。点击<11. Fly Camera Offset>按钮则显示”
首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]”消
息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个>按
钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除
去已贴装的所有吸嘴。
4. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。 在磁头1号的吸嘴槽上手动贴装CN400吸嘴后点击<
下个> 按钮。
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5. 显示“排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击<下个>按
钮。
6. 显示 “排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]” 消息。 请点击<下个>按
钮。
那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞
行相机1”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中’SMVision’窗口 显示的
Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
7. 校正首先识别Head的Reference Fiducial Mark测量飞行相机的R Offset。之后用
飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点测量飞行相机的Scale值。
8. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个> 按
钮。
9. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击<下个>按钮。
10. 请按照对磁头 1的校正方法，同样地从Head 2~10执行校正。
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11. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
备 注 Head-Fly Offset 的校正基准值如下。
(FOV 25 MEGA) [单位: X(mm) , Y (mm) , R (°) ]
Offset X : -0.60 ~ 0.60
Offset Y : -0.60 ~ 0.60
Offset R : -1.0 ~ 1.0