DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5).pdf - 第427页
14-69 Machine Calibration 9. 自动执行校正后。 结束 校 正则 如下图显示结果值。 10. 请 按 照对 磁头 1 的校正方法， 从 Head 2~10 号执行校正。 对所 有磁头正常完成 Calibration 次序， 则如下 图显示结果值。 11 . 完成对 Gantry1 的校正 后在 <Gantry> 组合框中选 择 ’Gantry2’ 以相同 的 方法 执行 校正。 结果值可在 Fly-…
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6. 显示 “排列高度上升，镜像关闭移动，点击[下一步]” 消息。 请点击<下个>按
钮。
7. 那么, Head 1上升到飞行相机的 Align 高度，关闭 Mirror。还有在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息 。 此时点击<亮度>后在 “ 亮度控制”对
话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为止调整
照明亮度后点击<下个>按钮。
8. 校正首先旋转45度校正 Tool的同时用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial
Mark 2点。之后把校正 Tool位于ANC顶面的校正 Tool位置后，用基准相机识别
校正 Tool上面的Fiducial Mark 2点。
之后，重新Pick旋转90度放置于此位置后，用基准相机识别校正 Tool上面的
Fiducial Mark 2点。用此方法对一个Head以90度为单位进行旋转测量0度、90
度、180度、270度的四个方向。
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Machine Calibration
9. 自动执行校正后。结束校正则如下图显示结果值。
10. 请按照对磁头1的校正方法，从Head 2~10号执行校正。对所有磁头正常完成
Calibration 次序，则如下图显示结果值。
11. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在Fly-Fix Offset对话框中确认。
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备 注 Fly to Fix Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)
14.3.10.8. R-Axis Offset Calibration
R轴的识别角度和贴装角度不相同时，因为通过Vision不能完全补正R轴的误差，因
此下降贴装精度。
因此R轴的Motion用数据的方式补正近似值，为了最小化此误差执行R-Axis Offset
校正。
校正作业之前首先要确认校正 Tool是否在ANC的校正 Tool处。
下面是 R-Axis Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1号孔中插入CN400吸嘴。
2. 选择<自动下一步> 校验框后，点击<15. R-Axis Offset> 按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，
并点击<下个>进入下一个阶段。
不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执行