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NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02 错误信息 故障排除篇 2-1-3 单一停止错误 44 2-1-3 -86 基板信息通信错误 基板信息交接错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬送时基板信息的交接 错误。 ( 基板信息的交接发生了错 误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板位置。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司。 44008 基板搬出时基板信息的移…
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
2-1-3-85
中间基板要求信号ON的
超时错误
基板定位错误
传送带的越限传感器异
常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时由于越限检测传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44005
基板搬入时由于越限检测停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44006
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44007
错
误
对
策
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
错误信息
故障排除篇
2-1-3
单一停止错误 44
2-1-3-86
基板信息通信错误
基板信息交接错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44008
基板搬出时基板信息的移动
等待发生了超时。
(基板信息的通信发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44009
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LNB命令发送错误
基板信息确认错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时不能进行基板信
息的确认。
(基板信息的确认发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44010
读取基板条形码要求发生了
发送错误。
(向LNB发送命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44011
错
误
对
策